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有虫友知道哪些厂家可以在Si基片上做AlN压电薄膜的吗？
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| 因为实验室做的AlN压电薄膜效果不好，就想直接买现成的Si/AlN衬底，或Si/SiO2/AlN衬底，就是不知道有哪些公司做，着急啊！虫友们给介绍介绍啊！ |
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MEMS里面的压电材料AlN和PZT哪个用的比较多？
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