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小海孩银虫 (小有名气)
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[求助]
有关氮化铝薄膜的问题 已有1人参与
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| 请问下，现在关于磁控溅射制备AlN薄膜。为什么基本上用纯铝靶材与氮气反应在基底上生成薄膜，而不直接溅射氮化铝靶材制备薄膜呢？ |
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 薄膜制备与特性 |
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Jason
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