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小海孩

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[求助] 有关氮化铝薄膜的问题已有1人参与

请问下，现在关于磁控溅射制备AlN薄膜。为什么基本上用纯铝靶材与氮气反应在基底上生成薄膜，而不直接溅射氮化铝靶材制备薄膜呢？

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薄膜制备与特性

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科研

1楼2015-01-30 15:00:31

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Jason

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

氮化铝不导电啦
直接用铝靶也会有问题

赞一下(1人)

Jason

2楼2015-01-30 15:40:37

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