24小时热门版块排行榜    

查看: 673  |  回复: 2

LC_yang

铜虫 (小有名气)

[求助] 求助制备30微米厚的二氧化硅(SiO2)的方法? 已有1人参与

我个人想做一种人工微结构,设计需要:二氧化硅层的厚度是30微米,请教哪位大神能告诉我有没有可能制备出来?
对工艺本人不慎了解!谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

研究光学工程
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)

专家


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
LC_yang: 金币+5, ★★★很有帮助, 有帮助,请再详细一些,谢谢 2015-01-23 09:37:44
看你在什么衬底上制备了,以及你的衬底能耐受的温度。使用PECVD,湿法氧化和干法氧化都可以在硅片上制备二氧化硅
2楼2015-01-21 21:17:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

LC_yang

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 盟维科技 at 2015-01-21 21:17:57
看你在什么衬底上制备了,以及你的衬底能耐受的温度。使用PECVD,湿法氧化和干法氧化都可以在硅片上制备二氧化硅

你好,我设计的结构是透光的,所以衬底是透光的应该就可以。只是我不知道常用的都有什么衬底,在网上能找到一些制备SiO2的方法以及文献,但是没有提到能够做30微米厚的,你说的方法也有人说可以,能到30微米厚吗?谢谢
研究光学工程
3楼2015-01-22 12:46:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 LC_yang 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 投票:  有多少人是今天查系统知道结果的? +16 爱看书的可乐 2026-08-26 18/900 2026-08-28 05:13 by winsaint
[基金申请] 基金系统什么内容也没有 30+3 winsaint 2026-08-27 6/300 2026-08-28 01:46 by alongwaytogo
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 XLGfUIdOmEAO 2026-08-27 3/150 2026-08-28 00:49 by 3RAFyYXYSwGS
[基金申请] 面上合作单位盖章 +5 ssyjh 2026-08-27 5/250 2026-08-27 20:50 by gdfollow
[教师之家] 导师吐槽:我怎么摊上了这么个极品研究生! +7 苏东坡二世 2026-08-23 7/350 2026-08-27 18:14 by 瞬息宇宙
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +5 叶九微 2026-08-26 5/250 2026-08-27 10:35 by l_zh2008
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 LIbGuocjEEYw 2026-08-26 4/200 2026-08-27 02:01 by Ie9AyIAvGbvs
[基金申请] 我不理解! +15 Edward_pc 2026-08-26 23/1150 2026-08-26 20:34 by zzuzxg
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +7 process2012 2026-08-23 10/500 2026-08-26 19:23 by hmhminy
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +9 炎黄贵胄 2026-08-22 10/500 2026-08-26 15:40 by semaglutide
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +4 bjdxyxy 2026-08-26 4/200 2026-08-26 13:12 by qingmu1201
[基金申请] 国合里面能看到了 +7 一怀馨秋 2026-08-26 7/350 2026-08-26 11:23 by zhaosm1982
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
[基金申请] 项目信息和经费信息在系统里都可以看到了 +6 wittyboy 2026-08-26 14/700 2026-08-26 10:55 by wittyboy
[基金申请] 国合现在查不到了吗? +10 chengyan1220 2026-08-24 20/1000 2026-08-26 08:57 by peasantsprig
[基金申请] 明天应该可查了!? +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +9 图啦图啦 2026-08-24 10/500 2026-08-25 11:59 by 南海小哥
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +13 kulium 2026-08-21 16/800 2026-08-24 16:27 by superceng
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办? +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
信息提示
请填处理意见