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LC_yang

铜虫 (小有名气)

[求助] 求助制备30微米厚的二氧化硅(SiO2)的方法? 已有1人参与

我个人想做一种人工微结构,设计需要:二氧化硅层的厚度是30微米,请教哪位大神能告诉我有没有可能制备出来?
对工艺本人不慎了解!谢谢
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【答案】应助回帖

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LC_yang: 金币+5, ★★★很有帮助, 有帮助,请再详细一些,谢谢 2015-01-23 09:37:44
看你在什么衬底上制备了,以及你的衬底能耐受的温度。使用PECVD,湿法氧化和干法氧化都可以在硅片上制备二氧化硅
2楼2015-01-21 21:17:57
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LC_yang

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 盟维科技 at 2015-01-21 21:17:57
看你在什么衬底上制备了,以及你的衬底能耐受的温度。使用PECVD,湿法氧化和干法氧化都可以在硅片上制备二氧化硅

你好,我设计的结构是透光的,所以衬底是透光的应该就可以。只是我不知道常用的都有什么衬底,在网上能找到一些制备SiO2的方法以及文献,但是没有提到能够做30微米厚的,你说的方法也有人说可以,能到30微米厚吗?谢谢
研究光学工程
3楼2015-01-22 12:46:45
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