24小时热门版块排行榜    

查看: 599  |  回复: 2

LC_yang

铜虫 (小有名气)

[求助] 求助制备30微米厚的二氧化硅(SiO2)的方法? 已有1人参与

我个人想做一种人工微结构,设计需要:二氧化硅层的厚度是30微米,请教哪位大神能告诉我有没有可能制备出来?
对工艺本人不慎了解!谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

研究光学工程
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)

专家


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
LC_yang: 金币+5, ★★★很有帮助, 有帮助,请再详细一些,谢谢 2015-01-23 09:37:44
看你在什么衬底上制备了,以及你的衬底能耐受的温度。使用PECVD,湿法氧化和干法氧化都可以在硅片上制备二氧化硅
2楼2015-01-21 21:17:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

LC_yang

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 盟维科技 at 2015-01-21 21:17:57
看你在什么衬底上制备了,以及你的衬底能耐受的温度。使用PECVD,湿法氧化和干法氧化都可以在硅片上制备二氧化硅

你好,我设计的结构是透光的,所以衬底是透光的应该就可以。只是我不知道常用的都有什么衬底,在网上能找到一些制备SiO2的方法以及文献,但是没有提到能够做30微米厚的,你说的方法也有人说可以,能到30微米厚吗?谢谢
研究光学工程
3楼2015-01-22 12:46:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 LC_yang 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 291求调剂 +3 HanBeiNingZC 2026-03-24 3/150 2026-03-24 16:34 by barlinike
[考研] 招08考数学 +6 laoshidan 2026-03-20 15/750 2026-03-24 16:22 by laoshidan
[材料工程] 一志愿C9材料与化工专业总分300求调剂 +4 曼111 2026-03-24 5/250 2026-03-24 15:44 by 星空星月
[考研] 收08调剂生 +3 komorebi69 2026-03-18 3/150 2026-03-24 12:03 by c陈哲
[考研] 求材料,环境专业调剂 +3 18567500178 2026-03-18 3/150 2026-03-23 23:50 by 热情沙漠
[考研] 环境学硕288求调剂 +8 皮皮皮123456 2026-03-22 8/400 2026-03-23 23:47 by 热情沙漠
[考研] 085600材料与化工调剂 +7 A-哆啦Z梦 2026-03-23 12/600 2026-03-23 23:16 by 星空星月
[考研] 一志愿国科过程所081700,274求调剂 +3 三水研0水立方 2026-03-23 3/150 2026-03-23 23:11 by MajorWen
[考研] 一志愿重庆大学085700资源与环境,总分308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-23 8/400 2026-03-23 20:36 by Creta
[考研] 336求调剂 +4 收到VS 2026-03-20 4/200 2026-03-23 19:02 by macy2011
[考研] 328求调剂 +4 LHHL66 2026-03-23 4/200 2026-03-23 14:55 by lbsjt
[考博] 招收博士1-2人 +3 QGZDSYS 2026-03-18 4/200 2026-03-22 10:25 by QGZDSYS
[考研] 299求调剂 +5 shxchem 2026-03-20 7/350 2026-03-21 17:09 by ColorlessPI
[考研] 一志愿重庆大学085700资源与环境专硕,总分308求调剂 +3 墨墨漠 2026-03-18 3/150 2026-03-21 00:39 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南昌大学,327分,材料与化工085600 +9 Ncdx123456 2026-03-19 9/450 2026-03-20 23:41 by lovewei0727
[考研] 一志愿苏州大学材料求调剂,总分315(英一) +5 sbdksD 2026-03-19 5/250 2026-03-20 22:10 by luoyongfeng
[考研] 材料学求调剂 +4 Stella_Yao 2026-03-20 4/200 2026-03-20 20:28 by ms629
[考研] 一志愿 南京航空航天大学大学 ,080500材料科学与工程学硕 +5 @taotao 2026-03-20 5/250 2026-03-20 20:16 by JourneyLucky
[考研] 【同济软件】软件(085405)考研求调剂 +3 2026eternal 2026-03-18 3/150 2026-03-18 19:09 by 搏击518
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
信息提示
请填处理意见