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li19910228

银虫 (小有名气)

[求助] BOSCH仪器 已有2人参与

有没有人了解国外的这个刻蚀机器,在哪里能下载相关资料呢

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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这是一种工艺条件吧,不是特指一种仪器
2楼2015-01-13 20:49:59
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li19910228

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-13 20:49:59
这是一种工艺条件吧,不是特指一种仪器

你清楚吗?这个我不很明白

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3楼2015-01-13 22:22:02
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exciting73

金虫 (著名写手)


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3楼: Originally posted by li19910228 at 2015-01-13 22:22:02
你清楚吗?这个我不很明白
...

Bosch工艺交替刻蚀主要用于在Si片上形成高深宽比沟槽并具有垂直侧壁结构,是英国STS公司的专利技术。Bosch工艺主要存在的问题是刻蚀侧壁出现锯齿状表面,这对于微纳米细线条刻蚀是不希望出现的。
Bosch技术采用刻蚀钝化交替进行的方法来实现各向异性,是应用最广泛的方法。

另外你可以参考以下文章了解Bosch工艺。
硅DRIE刻蚀工艺模拟研究
作者: 朱福运 于民 金玉丰 张海霞
出处: 《中国电子科学研究院学报》
2011年第6卷第1期
4楼2015-01-14 08:59:59
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li19910228

银虫 (小有名气)

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4楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-14 08:59:59
Bosch工艺交替刻蚀主要用于在Si片上形成高深宽比沟槽并具有垂直侧壁结构,是英国STS公司的专利技术。Bosch工艺主要存在的问题是刻蚀侧壁出现锯齿状表面,这对于微纳米细线条刻蚀是不希望出现的。
Bosch技术采用刻 ...

非常感谢

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5楼2015-01-14 12:58:11
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exciting73

金虫 (著名写手)


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5楼: Originally posted by li19910228 at 2015-01-14 12:58:11
非常感谢
...

别客气。请问你用什么胶做这个工艺?
6楼2015-01-14 13:46:04
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li19910228

银虫 (小有名气)

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6楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-14 13:46:04
别客气。请问你用什么胶做这个工艺?...

用Su8-2015,正胶不可行

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7楼2015-01-14 14:41:40
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exciting73

金虫 (著名写手)


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7楼: Originally posted by li19910228 at 2015-01-14 14:41:40
用Su8-2015,正胶不可行
...

能否站内短消息留个联系方式
8楼2015-01-14 15:19:24
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li19910228

银虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-14 15:19:24
能否站内短消息留个联系方式...

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9楼2015-01-14 23:07:41
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是一直刻蚀工艺,不过我没做过
我~心~依~旧
10楼2015-01-15 09:48:14
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