24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1331  |  回复: 10
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

li19910228

银虫 (小有名气)

[求助] BOSCH仪器 已有2人参与

有没有人了解国外的这个刻蚀机器,在哪里能下载相关资料呢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

li19910228

银虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-14 15:19:24
能否站内短消息留个联系方式...

已发,注明小木虫哦

[ 发自小木虫客户端 ]
9楼2015-01-14 23:07:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这是一种工艺条件吧,不是特指一种仪器
2楼2015-01-13 20:49:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

li19910228

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-13 20:49:59
这是一种工艺条件吧,不是特指一种仪器

你清楚吗?这个我不很明白

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-01-13 22:22:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by li19910228 at 2015-01-13 22:22:02
你清楚吗?这个我不很明白
...

Bosch工艺交替刻蚀主要用于在Si片上形成高深宽比沟槽并具有垂直侧壁结构,是英国STS公司的专利技术。Bosch工艺主要存在的问题是刻蚀侧壁出现锯齿状表面,这对于微纳米细线条刻蚀是不希望出现的。
Bosch技术采用刻蚀钝化交替进行的方法来实现各向异性,是应用最广泛的方法。

另外你可以参考以下文章了解Bosch工艺。
硅DRIE刻蚀工艺模拟研究
作者: 朱福运 于民 金玉丰 张海霞
出处: 《中国电子科学研究院学报》
2011年第6卷第1期
4楼2015-01-14 08:59:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿211 初试270分 求调剂 +8 谷雨上岸 2026-03-23 9/450 2026-03-29 01:00 by 我是小康
[硕博家园] 求调剂 330分 085600材料与化工 +3 gqhhh 2026-03-22 3/150 2026-03-29 00:52 by 544594351
[考研] 一志愿武汉理工,总分321,英一数二,求老师收留。 +7 nnnnnnn5 2026-03-25 7/350 2026-03-29 00:32 by 我是小康
[考研] 086000调剂 +3 7901117076 2026-03-26 3/150 2026-03-27 21:34 by Jianing_Mi
[考研] 材料与化工085600,总分304,本科有两篇sci参与,求调剂 +10 幸运的酱酱 2026-03-22 12/600 2026-03-27 16:08 by muchong357
[考研] 调剂 +3 李嘉图·S·路 2026-03-27 3/150 2026-03-27 11:19 by wangjy2002
[考研] 286求调剂 +4 lim0922 2026-03-26 4/200 2026-03-27 10:28 by guoweigw
[考研] 336材料求调剂 +7 陈滢莹 2026-03-26 9/450 2026-03-27 00:20 by wxiongid
[考研] 340求调剂 +3 Amber00 2026-03-26 3/150 2026-03-26 18:57 by 不吃魚的貓
[考研] 材料考研求调剂 +3 Dendel 2026-03-23 6/300 2026-03-26 17:51 by fmesaito
[考研] 总分293求调剂 +6 加一一九 2026-03-25 8/400 2026-03-26 13:30 by yujianx
[考研] 一志愿哈工大,085400,320,求调剂 +4 gdlf9999 2026-03-24 4/200 2026-03-25 23:01 by boxking200
[考研] 07化学303求调剂 +5 睿08 2026-03-25 5/250 2026-03-25 22:46 by 418490947
[考研] 生物技术与工程 +3 1294608413 2026-03-25 4/200 2026-03-25 18:02 by 1294608413
[考研] 0854电子信息求调剂 324 +4 Promise-jyl 2026-03-23 4/200 2026-03-25 11:36 by Sugarlight
[考研] 086003食品工程求调剂 +6 淼淼111 2026-03-24 6/300 2026-03-25 10:29 by 3Strings
[考研] 材料专硕331求调剂 +4 鲜当牛 2026-03-24 4/200 2026-03-24 15:58 by JourneyLucky
[考研] 一志愿山东大学药学学硕求调剂 +3 开开心心没烦恼 2026-03-23 4/200 2026-03-24 00:06 by 开开心心没烦恼
[考研] 材料/农业专业,07/08开头均可,过线就行 +3 呵唔哦豁 2026-03-23 4/200 2026-03-23 22:30 by 汪!?!
[考研] 070300,一志愿北航320求调剂 +3 Jerry0216 2026-03-22 5/250 2026-03-23 09:16 by 。。堂堂
信息提示
请填处理意见