应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » BOSCH仪器
51/1返回列表
查看: 1263  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

li19910228

银虫 (小有名气)

[求助] BOSCH仪器 已有2人参与

有没有人了解国外的这个刻蚀机器，在哪里能下载相关资料呢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-01-13 19:09:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by li19910228 at 2015-01-13 22:22:02
你清楚吗？这个我不很明白
...

Bosch工艺交替刻蚀主要用于在Si片上形成高深宽比沟槽并具有垂直侧壁结构，是英国STS公司的专利技术。Bosch工艺主要存在的问题是刻蚀侧壁出现锯齿状表面，这对于微纳米细线条刻蚀是不希望出现的。
Bosch技术采用刻蚀钝化交替进行的方法来实现各向异性，是应用最广泛的方法。

另外你可以参考以下文章了解Bosch工艺。
硅DRIE刻蚀工艺模拟研究
作者: 朱福运 于民 金玉丰 张海霞
出处: 《中国电子科学研究院学报》
2011年第6卷第1期
赞一下 回复此楼
4楼2015-01-14 08:59:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这是一种工艺条件吧，不是特指一种仪器
赞一下 回复此楼
2楼2015-01-13 20:49:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

li19910228

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-13 20:49:59
这是一种工艺条件吧，不是特指一种仪器

你清楚吗？这个我不很明白

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
3楼2015-01-13 22:22:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

li19910228

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-14 08:59:59
Bosch工艺交替刻蚀主要用于在Si片上形成高深宽比沟槽并具有垂直侧壁结构，是英国STS公司的专利技术。Bosch工艺主要存在的问题是刻蚀侧壁出现锯齿状表面，这对于微纳米细线条刻蚀是不希望出现的。
Bosch技术采用刻 ...

非常感谢

[ 发自小木虫客户端 ]
回复此楼
5楼2015-01-14 12:58:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭