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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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li19910228

银虫 (小有名气)

[求助] BOSCH仪器 已有2人参与

有没有人了解国外的这个刻蚀机器,在哪里能下载相关资料呢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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li19910228

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-13 20:49:59
这是一种工艺条件吧,不是特指一种仪器

你清楚吗?这个我不很明白

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-01-13 22:22:02
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这是一种工艺条件吧,不是特指一种仪器
2楼2015-01-13 20:49:59
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exciting73

金虫 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by li19910228 at 2015-01-13 22:22:02
你清楚吗?这个我不很明白
...

Bosch工艺交替刻蚀主要用于在Si片上形成高深宽比沟槽并具有垂直侧壁结构,是英国STS公司的专利技术。Bosch工艺主要存在的问题是刻蚀侧壁出现锯齿状表面,这对于微纳米细线条刻蚀是不希望出现的。
Bosch技术采用刻蚀钝化交替进行的方法来实现各向异性,是应用最广泛的方法。

另外你可以参考以下文章了解Bosch工艺。
硅DRIE刻蚀工艺模拟研究
作者: 朱福运 于民 金玉丰 张海霞
出处: 《中国电子科学研究院学报》
2011年第6卷第1期
4楼2015-01-14 08:59:59
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li19910228

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-14 08:59:59
Bosch工艺交替刻蚀主要用于在Si片上形成高深宽比沟槽并具有垂直侧壁结构,是英国STS公司的专利技术。Bosch工艺主要存在的问题是刻蚀侧壁出现锯齿状表面,这对于微纳米细线条刻蚀是不希望出现的。
Bosch技术采用刻 ...

非常感谢

[ 发自小木虫客户端 ]
5楼2015-01-14 12:58:11
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