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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » BOSCH仪器
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li19910228

银虫 (小有名气)

[求助] BOSCH仪器 已有2人参与

有没有人了解国外的这个刻蚀机器，在哪里能下载相关资料呢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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1楼 2015-01-13 19:09:46
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li19910228

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-14 13:46:04
别客气。请问你用什么胶做这个工艺？...

用Su8-2015，正胶不可行

[ 发自小木虫客户端 ]
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7楼2015-01-14 14:41:40
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这是一种工艺条件吧，不是特指一种仪器
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2楼2015-01-13 20:49:59
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li19910228

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-13 20:49:59
这是一种工艺条件吧，不是特指一种仪器

你清楚吗？这个我不很明白

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2015-01-13 22:22:02
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by li19910228 at 2015-01-13 22:22:02
你清楚吗？这个我不很明白
...

Bosch工艺交替刻蚀主要用于在Si片上形成高深宽比沟槽并具有垂直侧壁结构，是英国STS公司的专利技术。Bosch工艺主要存在的问题是刻蚀侧壁出现锯齿状表面，这对于微纳米细线条刻蚀是不希望出现的。
Bosch技术采用刻蚀钝化交替进行的方法来实现各向异性，是应用最广泛的方法。

另外你可以参考以下文章了解Bosch工艺。
硅DRIE刻蚀工艺模拟研究
作者: 朱福运 于民 金玉丰 张海霞
出处: 《中国电子科学研究院学报》
2011年第6卷第1期
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4楼2015-01-14 08:59:59
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