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tjalovebu

新虫 (初入文坛)

[求助] 真空蒸镀金属问题 已有1人参与

各位大神好,我有关于金属蒸镀问题求帮助。我做的器件是顶栅工艺,将源漏电极金蒸在玻璃衬底上,在此之前蒸5nm的铬来增加粘附性。但是最后蒸金之后发现表面非常不平整,呈磨砂状,蒸金时候的速率很慢约在0.3-0.5Å/s左右,请问是速率太小或者不稳定的原因吗?

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chengkeji

新虫 (知名作家)

你好,想问你关于磁控溅射方面或者真空蒸镀方面的问题,能留个联系方式吗?
2楼2016-05-07 10:10:50
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盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)

专家


【答案】应助回帖

用的什么设备,镀膜之前衬底有没有测过粗糙情况
3楼2016-05-09 12:55:58
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