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tjalovebu

新虫 (初入文坛)

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专业: 应用光学

[求助] 真空蒸镀金属问题已有1人参与

各位大神好，我有关于金属蒸镀问题求帮助。我做的器件是顶栅工艺，将源漏电极金蒸在玻璃衬底上，在此之前蒸5nm的铬来增加粘附性。但是最后蒸金之后发现表面非常不平整，呈磨砂状，蒸金时候的速率很慢约在0.3-0.5Å/s左右，请问是速率太小或者不稳定的原因吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

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1楼 2015-01-08 11:12:18

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chengkeji

新虫 (知名作家)

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你好，想问你关于磁控溅射方面或者真空蒸镀方面的问题，能留个联系方式吗?

2楼2016-05-07 10:10:50

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盟维科技

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专家

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专业: 半导体微纳机电器件与系统

【答案】应助回帖

用的什么设备，镀膜之前衬底有没有测过粗糙情况

3楼2016-05-09 12:55:58

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