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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上有层SiO2薄膜，用AFM测厚度该怎么制样。
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glorylin

金虫 (小有名气)

[求助] 在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上有层SiO2薄膜，用AFM测厚度该怎么制样。 已有11人参与

RT,在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上长了一层10nm 左右的SiO2薄膜，打算用AFM测厚度，那我该怎么制样。用针划？这样会不会把基底划破，或者Sio2薄膜能划破吗？或者利用光刻的方法制作边缘？

没做过AFM，所以完全不懂，求指教。非常感谢
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1楼 2014-12-30 11:24:12
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东环小苦逼

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
16楼: Originally posted by glorylin at 2015-01-03 12:53:29
是不是用利用光刻腐蚀掉一个区域，然后在AFM下找到有二氧化硅和无二氧化硅的边界就可以量出厚度了？...

嗯  但是区域一定要做好标记，AFM测试区域不能太大，而且速度也不快

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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18楼2015-01-04 10:46:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用HF腐蚀出一个台阶出来。
最好是光刻以后再腐蚀，因为AFM的扫描面积很小。
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3楼2014-12-30 17:08:45
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石银东

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
确实AFM的扫描面积很小，用来测量厚度确实有点不太方便，其实，你只是单纯的测量厚度的话，有很多不同仪器、不同的方法进行测试，而且测量比较快，操作简单，都能够测量纳米级别的厚度。
比如薄膜测厚仪运用光学的测量方法，同时可以获得薄膜的反射光谱、透射光谱等光学参数；
再比如面阻测试仪运用电学的测量方法，同时可以获得材料的电阻值。
你可以考虑下。。。
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4楼2014-12-30 17:20:12
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nancy10214

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果腐蚀，ALD长的氧化铝很快的，BOE也可以腐蚀，不过高温退火后的氧化铝就不能被腐蚀了，所以腐蚀要在退火前进行！
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5楼2014-12-31 09:53:30
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