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露露study

木虫 (正式写手)

[求助] 硅纳米粒子的合成 已有1人参与

各位大牛,有谁在做硅纳米粒子,请问有没有什么比较好的方法合成硅纳米粒子?有没有相关文献,谢谢!!
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伤心一分钟,便失去60秒的幸福。。。。
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
露露study: 金币+1, ★★★很有帮助 2014-12-02 12:44:53
化学刻蚀法, PECVD沉积法都可以,具体看你的应用。
2楼2014-12-01 23:06:22
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露露study

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2014-12-01 23:06:22
化学刻蚀法, PECVD沉积法都可以,具体看你的应用。

我目前正在想的方法是还原硅烷法来合成,但是没有找到比较好的文献作参考,能提供几篇相应的文献吗?
伤心一分钟,便失去60秒的幸福。。。。
3楼2014-12-02 12:44:38
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