24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
汕头大学海洋科学接受调剂
查看: 1527  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 细线宽掩膜版 已有1人参与

请问各位现在像32nm及以下尺寸线宽的Cr掩膜版是如何制作的?是电子束直写吗?在图像从光刻胶转移到铬膜上时是如何刻蚀的,如果湿法腐蚀的话铬不是各向同性的吗,那么线宽很难控制吧?望高人指点,谢谢
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


电子束直写+干法刻蚀。掩模版上32nm的图形,对应IC上的线宽是8nm,没有这个技术节点。到了8nm,也不是写32nm的图形,而是更大的,会通过二次曝光和PSM等OPC技术来缩小分辨率。而8nm以下,那是EUV的事儿了,掩模版完全不同。
7楼2020-02-25 20:52:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

crazy大象

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

目前我了解的国内对外加工的单位  电子束好像只能做到350nm   而且价格很高
2楼2016-05-29 13:22:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

serene361

新虫 (小有名气)

几十纳米这个级别用Cr掩膜版应该没法做到吧?通常要用光栅了。
3楼2016-05-29 19:58:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (初入文坛)

本帖仅楼主可见
4楼2020-01-30 12:16:55
已阅   申请MN-EPI   回复此楼   编辑   查看我的主页
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化工学硕294分,求导师收留 +32 yzyzx 2026-04-12 36/1800 2026-04-14 17:45 by lhj2009
[考研] 考研调剂 +13 长弓傲 2026-04-13 14/700 2026-04-14 14:44 by zs92450
[考研] 农学0904 312求调剂 +4 Say Never 2026-04-11 4/200 2026-04-14 09:10 by zs92450
[考研] 材料复试求调剂 +24 xhhdjdjsjks 2026-04-09 24/1200 2026-04-13 15:49 by 幸免 ..
[考研] 一志愿双非085400电子信息344 求调剂,对材料和化学方向也感兴趣 +12 无情的小羊 2026-04-09 13/650 2026-04-13 14:17 by 张zhihao
[考研] 材料考研调剂 +29 云木达达 2026-04-11 31/1550 2026-04-13 13:32 by lyh鲁老师
[考研] 314求调剂 +24 wakeluofu 2026-04-09 25/1250 2026-04-13 08:58 by lhj2009
[考研] 求调剂,262机械专硕 +8 嗯yyl 2026-04-08 8/400 2026-04-12 02:31 by 秋豆菜芽
[考研] 085410 273分调剂 +4 X1999 2026-04-09 4/200 2026-04-11 13:05 by pies112
[考研] 求调剂 +6 archer.. 2026-04-09 8/400 2026-04-11 10:55 by zhq0425
[考研] 0854调剂 +5 音像店听花鼓戏 2026-04-10 5/250 2026-04-11 10:49 by qingpingzhu
[考研] 087100初试311求调剂 +4 任雅琴 2026-04-09 4/200 2026-04-11 10:33 by zhq0425
[考研] 085410-273求调剂 +6 X1999 2026-04-10 6/300 2026-04-11 10:32 by Delta2012
[考研] 283求调剂,工科! +12 苏打水7777 2026-04-08 12/600 2026-04-11 10:28 by 逆水乘风
[考研] 22408 327分求调剂 +4 韵风kon 2026-04-10 4/200 2026-04-11 09:51 by 猪会飞
[考研] 342电子信息专硕求调剂 +9 你让我怎么荔枝 2026-04-10 10/500 2026-04-11 08:33 by zhq0425
[考研] 调剂 化学 307 +21 73372112 2026-04-09 23/1150 2026-04-10 23:53 by wj165256
[考研] 本科西工大 0856 324求调剂 +10 wysyjs25 2026-04-09 11/550 2026-04-10 08:37 by 5268321
[考研] 334求调剂 +16 Riot2025 2026-04-08 17/850 2026-04-09 09:28 by wdyheheeh
[考研] 生物学学硕,初试351分,求调剂 +4 …~、王…~ 2026-04-08 5/250 2026-04-08 21:49 by limeifeng
信息提示
请填处理意见