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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » XPS和AES在做薄膜成分分析时的精确度问题
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Y山己几

新虫 (初入文坛)

[求助] XPS和AES在做薄膜成分分析时的精确度问题 已有2人参与

有两个样品A和B，同时做了XPS测试和AES测试来分析TaN薄膜的成分，即Ta和N的比例。TaN薄膜有30nm。令成分含量N/Ta=x，用XPS方法测试出来的结果显示xA(1.16)<xB(1.33),用AES方法测出来的xA(1.35)>xB(1.23)，这两个结果哪个可信呢？我没有金币了…………请大家指点指点！多谢！
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1楼 2014-11-14 10:46:05
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287164452

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
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2楼2014-11-14 17:52:00
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287164452

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2014-11-14 17:56:50
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598878157

版主 (文学泰斗)

rky

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这两个都不是做定量分析的吧
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4楼2014-11-16 09:43:19
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Y山己几

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 598878157 at 2014-11-16 09:43:19
这两个都不是做定量分析的吧

谢谢您！那如果想做定量分析要用什么方法测试？
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5楼2014-11-17 08:41:53
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Y山己几

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 287164452 at 2014-11-14 17:56:50
我没记错的话，俄歇电子能谱测的更表面，但定量稍微优于xps

我在小木虫上看到有人说XPS测成分，定量稍优于AES，我得不到确信的答案。俄歇电子能谱是能测的更表面，能不能帮忙解释一下为什么测得更表面定量就更优呢？谢谢！
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6楼2014-11-17 08:44:23
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Y山己几

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 287164452 at 2014-11-14 17:52:00
XPS测的是表面几个纳米的信息，定量的话，理论上不合适

谢谢~您是怎么从“XPS测的是表面几个纳米的信息”推理出“理论上定量不合适“的呢？还是说你这个表述没有因果关系，求指导！
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7楼2014-11-17 08:47:12
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287164452

禁虫 (正式写手)
★ ★ ★
Y山己几: 金币+3, ★有帮助, 我说的定量就是相对含量。我的提问是”哪个精确度更高一些？“您的回答是”这两个都不行，根本不能这么测“。我了解的情况是某国际知名半导体设备公司就是这么测的。 2014-11-17 15:36:11
本帖内容被屏蔽
8楼2014-11-17 09:24:16
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