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Y山己几

新虫 (初入文坛)

[求助] XPS和AES在做薄膜成分分析时的精确度问题 已有2人参与

有两个样品A和B，同时做了XPS测试和AES测试来分析TaN薄膜的成分，即Ta和N的比例。TaN薄膜有30nm。令成分含量N/Ta=x，用XPS方法测试出来的结果显示xA(1.16)<xB(1.33),用AES方法测出来的xA(1.35)>xB(1.23)，这两个结果哪个可信呢？我没有金币了…………请大家指点指点！多谢！
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1楼 2014-11-14 10:46:05
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Y山己几

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 287164452 at 2014-11-14 17:56:50
我没记错的话，俄歇电子能谱测的更表面，但定量稍微优于xps

我在小木虫上看到有人说XPS测成分，定量稍优于AES，我得不到确信的答案。俄歇电子能谱是能测的更表面，能不能帮忙解释一下为什么测得更表面定量就更优呢？谢谢！
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6楼2014-11-17 08:44:23
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287164452

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
2楼2014-11-14 17:52:00
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287164452

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2014-11-14 17:56:50
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598878157

版主 (文学泰斗)

rky

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这两个都不是做定量分析的吧
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4楼2014-11-16 09:43:19
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