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XPS和AES在做薄膜成分分析时的精确度问题 已有2人参与
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| 有两个样品A和B，同时做了XPS测试和AES测试来分析TaN薄膜的成分，即Ta和N的比例。TaN薄膜有30nm。令成分含量N/Ta=x，用XPS方法测试出来的结果显示xA(1.16)<xB(1.33),用AES方法测出来的xA(1.35)>xB(1.23)，这两个结果哪个可信呢？我没有金币了…………请大家指点指点！多谢！ |
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 薄膜器件的制备与表征 |
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2楼2014-11-14 17:52:00
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3楼2014-11-14 17:56:50
598878157
版主 (文学泰斗)
rky
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7楼2014-11-17 08:47:12
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Y山己几: 金币+3, ★有帮助, 我说的定量就是相对含量。我的提问是”哪个精确度更高一些？“您的回答是”这两个都不行，根本不能这么测“。我了解的情况是某国际知名半导体设备公司就是这么测的。 2014-11-17 15:36:11
Y山己几: 金币+3, ★有帮助, 我说的定量就是相对含量。我的提问是”哪个精确度更高一些？“您的回答是”这两个都不行，根本不能这么测“。我了解的情况是某国际知名半导体设备公司就是这么测的。 2014-11-17 15:36:11
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8楼2014-11-17 09:24:16