| 查看: 2285 | 回复: 20 | |||||||||||||||||||
[交流]
湿法化学处理后的Si表面，不干净的样子，是什么~？已有9人参与
|
|||||||||||||||||||
|
大家好，求助这样一个问题 因为设备的原因，只能用湿法化学来处理硅表面达到原子级平坦。 具体操作呢，先丙酮超声波清洗5分钟，然后无水酒精5分钟，然后超纯水20分钟。 然后SPM处理10分钟（浓硫酸和双氧水混合物），1%HF酸侵泡，直到表面完全疏水。 再然后用除去溶氧的NH4F溶液中腐蚀10分钟。 实验室是半导体无尘室，容器神马的大家都很认真的使用，镊子容器通风橱神马的分得也比较细，有机的，无机的，有金属的，有无resist的 ， 不过是否完全干净也不好说，因为之前没有看过STM的Si原子图，观察的也比较少，所以请大家来看看，之前是不是也遇到过这样的问题呢~~？  范围300nm bias电压-2V current电流1nA  范围150nm bias电压-2V current电流1nA |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有288人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 现在做的实验都是湿法合成纳米材料，以后工作咋办啊！听说化学湿法最不好找的啊！
已经有12人回复
- 光刻和电子束刻蚀做金属图案
已经有8人回复
- 制备原子级别平坦度的Si100表面
已经有15人回复
- 硅藻土化学成分用什么仪器测
已经有6人回复
- 硅纳米线湿法刻蚀
已经有8人回复
- 有做金属辅助化学刻蚀硅洞或硅线的吗
已经有6人回复
- 【讨论】金属辅助化学刻蚀硅纳米线 金颗粒
已经有10人回复
- 【请教】硅片的清洗
已经有59人回复
- 【求助】关于湿法刻蚀
已经有17人回复
山之巅322
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 7 (幼儿园)
- 金币: 7344.4
- 散金: 2613
- 红花: 13
- 沙发: 1
- 帖子: 2469
- 在线: 357.5小时
- 虫号: 3240124
- 注册: 2014-05-28
- 性别: GG
- 专业: 有机合成
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
石头阿呆
木虫之王 (文学泰斗)
像石头一样静静的思索
- 应助: 81 (初中生)
- 金币: 249928
- 散金: 27490
- 红花: 1127
- 沙发: 2338
- 帖子: 142061
- 在线: 6827.7小时
- 虫号: 2101979
- 注册: 2012-11-02
- 性别: GG
- 专业: 法学其他学科
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
石头阿呆
木虫之王 (文学泰斗)
像石头一样静静的思索
- 应助: 81 (初中生)
- 金币: 249928
- 散金: 27490
- 红花: 1127
- 沙发: 2338
- 帖子: 142061
- 在线: 6827.7小时
- 虫号: 2101979
- 注册: 2012-11-02
- 性别: GG
- 专业: 法学其他学科
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
zhoujin
木虫 (正式写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 4308.8
- 红花: 5
- 帖子: 657
- 在线: 367.5小时
- 虫号: 103579
- 注册: 2005-11-14
- 专业: 无机材料化学
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖