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orchid8299金虫 (正式写手)
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如何测试板式PECVD设备上的硅片的温度？ 已有2人参与
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不知道发这个版块合不合适。 我们买一台PECVD设备，板式的，被加热样品放置在腔体的上端，加热装置也在上端。采用铠装加热装置，加热丝下面是薄的金属板，金属板下面还有一个薄的不锈钢板，是用来放置样品的，样品贴在这个不锈钢板上。加热温度约500-600℃。请问各位大侠，用哪种方法能较为准确测得样品表面的温度？ |
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