| 查看: 1404 | 回复: 5 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
orchid8299金虫 (正式写手)
|
[求助]
如何测试板式PECVD设备上的硅片的温度？ 已有2人参与
|
|
|
不知道发这个版块合不合适。 我们买一台PECVD设备，板式的，被加热样品放置在腔体的上端，加热装置也在上端。采用铠装加热装置，加热丝下面是薄的金属板，金属板下面还有一个薄的不锈钢板，是用来放置样品的，样品贴在这个不锈钢板上。加热温度约500-600℃。请问各位大侠，用哪种方法能较为准确测得样品表面的温度？ |
回复此楼» 猜你喜欢
在MOF中，有没有羧基参加配位的情况
已经有2人回复
-
招2026年入学上海交通大学博士生，急！！！
已经有1人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有111人回复
-
理论计算合作
已经有0人回复
-
求高校合作
已经有1人回复
-
27级无机化学申博自荐
已经有2人回复
-
Chemdraw免费软件
已经有0人回复
-
单晶结构解析，各类疑难晶体数据处理和答疑
已经有38人回复
-
这个水相反应有没有催化剂促进发生
已经有4人回复
-
Mn Me3TACN
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助关于用PECVD在硅片上生长SiO2的掩膜材料
已经有8人回复
- 【交流】用PECVD法 在单晶硅表面 制备氮化硅 的颜色 与哪些因数有关？？？？
已经有5人回复
hbc1234
木虫 (小有名气)
- 应助: 46 (小学生)
- 金币: 4522.4
- 红花: 5
- 帖子: 271
- 在线: 182.5小时
- 虫号: 1105218
- 注册: 2010-09-21
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2014-10-20 09:41:30
2楼2014-10-19 12:18:47
orchid8299
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1551.5
- 散金: 241
- 帖子: 727
- 在线: 505.6小时
- 虫号: 703760
- 注册: 2009-02-18
- 专业: 半导体材料
4楼2014-10-21 11:25:25
orchid8299
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1551.5
- 散金: 241
- 帖子: 727
- 在线: 505.6小时
- 虫号: 703760
- 注册: 2009-02-18
- 专业: 半导体材料
5楼2014-10-21 11:26:34
