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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 如何测试板式PECVD设备上的硅片的温度？
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orchid8299

金虫 (正式写手)

[求助] 如何测试板式PECVD设备上的硅片的温度？ 已有2人参与

不知道发这个版块合不合适。
我们买一台PECVD设备，板式的，被加热样品放置在腔体的上端，加热装置也在上端。采用铠装加热装置，加热丝下面是薄的金属板，金属板下面还有一个薄的不锈钢板，是用来放置样品的，样品贴在这个不锈钢板上。加热温度约500-600℃。请问各位大侠，用哪种方法能较为准确测得样品表面的温度？
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1楼 2014-10-18 10:48:13
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
orchid8299: 金币+3 2014-10-21 11:24:12
如果设备本身没有热电偶什么的装置，那么最简单的就是用温度试纸贴衬底上拿进去烘，广州索益半导体那边有得卖
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2楼2014-10-19 12:18:47
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hbc1234

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
orchid8299: 金币+5 2014-10-21 11:25:46
如果可能的话，还是建议加一个热电偶，然后把它放在距离样品比较近的地方（可以是基片背面），这样再加一个控温器，还可以比较稳定的控制样品温度
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3楼2014-10-20 09:41:30
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orchid8299

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 巴巴罗萨 at 2014-10-19 12:18:47
如果设备本身没有热电偶什么的装置，那么最简单的就是用温度试纸贴衬底上拿进去烘，广州索益半导体那边有得卖

嗯。不知道那边的试纸温度最高能达到多少？我们买的进口的大概最高温300℃左右。有没有能测试500℃左右高温的试纸呢？
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4楼2014-10-21 11:25:25
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orchid8299

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hbc1234 at 2014-10-20 09:41:30
如果可能的话，还是建议加一个热电偶，然后把它放在距离样品比较近的地方（可以是基片背面），这样再加一个控温器，还可以比较稳定的控制样品温度

谢谢，有考虑加一个热电偶，有准备往这个方面尝试。
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5楼2014-10-21 11:26:34
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by orchid8299 at 2014-10-21 11:25:25
嗯。不知道那边的试纸温度最高能达到多少？我们买的进口的大概最高温300℃左右。有没有能测试500℃左右高温的试纸呢？...

errrrrrrrrrrrrr，好吧，我找了一下好像最高是260度……
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6楼2014-10-23 16:27:18
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