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mengdi08

银虫 (小有名气)

[求助] 用溅射法镀锌,薄膜和靶材表面都变成了黑色,是怎么回事?

我查过氧化锌即使是粉末状也是白色的,而粉末状的锌似乎是发灰的,但我这次得到的薄膜是炭黑的,很奇怪。这次镀了有1微米厚,而且最后三分钟是连续镀的,有没有可能是过热导致的?求大家帮忙分析,谢谢
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mengdi08

银虫 (小有名气)

顺便问一下,溅射法镀锌一般速率在多少?我用的是电流0.2A 电压30V
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2楼2014-10-13 12:41:06
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418783132

木虫 (著名写手)

检查一下真空度,看看有没有漏气现象。另外 看看是不是烧靶
努力不一定成功,放弃一定失败
3楼2014-10-13 12:50:33
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