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hello_Jzz银虫 (小有名气)
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[求助]
关于在硅片上开一个窗口的问题 已有2人参与
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各路的师兄师姐师弟师妹们： 最近我正在尝试如何在500微米Si+300nm氧化硅的片子上开一个窗口的问题，这个窗口要600微米见方，并且只去掉硅而保留氧化硅。这个氧化硅层稍后需要用来做加工。在网上看了一些方法，自己也尝试了一些，但是都不太顺利，想向大家请教一下，有没有这方面比较成熟的工艺。 |
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