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hello_Jzz

银虫 (小有名气)

[求助] 关于在硅片上开一个窗口的问题 已有2人参与

各路的师兄师姐师弟师妹们:
最近我正在尝试如何在500微米Si+300nm氧化硅的片子上开一个窗口的问题,这个窗口要600微米见方,并且只去掉硅而保留氧化硅。这个氧化硅层稍后需要用来做加工。在网上看了一些方法,自己也尝试了一些,但是都不太顺利,想向大家请教一下,有没有这方面比较成熟的工艺。
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你说的尺寸,如果只把氮化硅膜的厚度改成50nm以下,就是典型的TEM用氮化硅支持膜了,大批量的工业产品,很容易买到吧。你如果一定要300nm厚的氮化硅,也可以找他们订做吧,大概比你自己折腾要便宜。
2楼2014-10-11 13:38:40
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)

supernatural: 请站内索要联系方式,本版不允许在帖子里索要联系方式 2014-10-11 21:20:28
引用回帖:
2楼: Originally posted by papaverme at 2014-10-11 13:38:40
你说的尺寸,如果只把氮化硅膜的厚度改成50nm以下,就是典型的TEM用氮化硅支持膜了,大批量的工业产品,很容易买到吧。你如果一定要300nm厚的氮化硅,也可以找他们订做吧,大概比你自己折腾要便宜。

哦,是嘛,你有联系方式吗?我去咨询一下~
3楼2014-10-11 15:54:17
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by papaverme at 2014-10-11 13:38:40
你说的尺寸,如果只把氮化硅膜的厚度改成50nm以下,就是典型的TEM用氮化硅支持膜了,大批量的工业产品,很容易买到吧。你如果一定要300nm厚的氮化硅,也可以找他们订做吧,大概比你自己折腾要便宜。

哪家公司能做这个呀?求不吝赐教
4楼2014-10-13 10:13:55
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以把硅那面先减薄,再刻蚀。在减薄和刻蚀过程中保护好氧化硅那面就好。
5楼2014-10-13 10:34:20
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