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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于在硅片上开一个窗口的问题
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)

[求助] 关于在硅片上开一个窗口的问题 已有2人参与

各路的师兄师姐师弟师妹们：
最近我正在尝试如何在500微米Si+300nm氧化硅的片子上开一个窗口的问题，这个窗口要600微米见方，并且只去掉硅而保留氧化硅。这个氧化硅层稍后需要用来做加工。在网上看了一些方法，自己也尝试了一些，但是都不太顺利，想向大家请教一下，有没有这方面比较成熟的工艺。
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1楼 2014-10-11 10:39:41
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你说的尺寸，如果只把氮化硅膜的厚度改成50nm以下，就是典型的TEM用氮化硅支持膜了，大批量的工业产品，很容易买到吧。你如果一定要300nm厚的氮化硅，也可以找他们订做吧，大概比你自己折腾要便宜。
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2楼2014-10-11 13:38:40
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)
supernatural: 请站内索要联系方式，本版不允许在帖子里索要联系方式 2014-10-11 21:20:28
引用回帖:
2楼: Originally posted by papaverme at 2014-10-11 13:38:40
你说的尺寸，如果只把氮化硅膜的厚度改成50nm以下，就是典型的TEM用氮化硅支持膜了，大批量的工业产品，很容易买到吧。你如果一定要300nm厚的氮化硅，也可以找他们订做吧，大概比你自己折腾要便宜。

哦，是嘛，你有联系方式吗？我去咨询一下~
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3楼2014-10-11 15:54:17
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by papaverme at 2014-10-11 13:38:40
你说的尺寸，如果只把氮化硅膜的厚度改成50nm以下，就是典型的TEM用氮化硅支持膜了，大批量的工业产品，很容易买到吧。你如果一定要300nm厚的氮化硅，也可以找他们订做吧，大概比你自己折腾要便宜。

哪家公司能做这个呀？求不吝赐教
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4楼2014-10-13 10:13:55
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以把硅那面先减薄，再刻蚀。在减薄和刻蚀过程中保护好氧化硅那面就好。
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5楼2014-10-13 10:34:20
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