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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

[求助] AAO模板的固定问题 已有3人参与

想把AAO模板固定在硅片上,然后用作掩膜等离子刻蚀硅片,请问怎么把AAO模板固定在硅片上, 模板很薄,放在硅片上一吹就掉,希望能有什么样的方法把AAO模板贴合到硅片上,当然希望之间不能有太大的空隙,请大家不吝赐教啊
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谦虚谨慎的学习,与大家共勉!
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警幻珠

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

把模版放在溶剂上,让它飘起来,再用硅片捞起来,等溶剂干了就固定住了
4楼2014-10-17 16:30:37
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
呵呵,不知用夹子在边上夹一下是否可以呢
2楼2014-10-10 21:05:11
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2014-10-10 21:05:11
呵呵,不知用夹子在边上夹一下是否可以呢

不行的,一是模板很薄,夹力一大就碎了,二是要让硅片表面保持平面,不能用夹子
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3楼2014-10-11 08:22:36
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

引用回帖:
4楼: Originally posted by 警幻珠 at 2014-10-17 16:30:37
把模版放在溶剂上,让它飘起来,再用硅片捞起来,等溶剂干了就固定住了

什么溶剂呢,我之前用丙酮,模板大约10个微米很厚,溶剂干了以后由于有张力,模板还是容易掉下来,不知道用什么样的溶剂?
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5楼2014-10-20 08:52:48
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