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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

[求助] AAO模板的固定问题 已有3人参与

想把AAO模板固定在硅片上,然后用作掩膜等离子刻蚀硅片,请问怎么把AAO模板固定在硅片上, 模板很薄,放在硅片上一吹就掉,希望能有什么样的方法把AAO模板贴合到硅片上,当然希望之间不能有太大的空隙,请大家不吝赐教啊
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警幻珠

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by bluepanda4 at 2014-10-20 08:52:48
什么溶剂呢,我之前用丙酮,模板大约10个微米很厚,溶剂干了以后由于有张力,模板还是容易掉下来,不知道用什么样的溶剂?...

我当时是用去离子水试的,没有掉下来,不过还没进行下一步的实验。
9楼2014-10-21 10:40:54
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
呵呵,不知用夹子在边上夹一下是否可以呢
2楼2014-10-10 21:05:11
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2014-10-10 21:05:11
呵呵,不知用夹子在边上夹一下是否可以呢

不行的,一是模板很薄,夹力一大就碎了,二是要让硅片表面保持平面,不能用夹子
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3楼2014-10-11 08:22:36
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警幻珠

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

把模版放在溶剂上,让它飘起来,再用硅片捞起来,等溶剂干了就固定住了
4楼2014-10-17 16:30:37
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

引用回帖:
4楼: Originally posted by 警幻珠 at 2014-10-17 16:30:37
把模版放在溶剂上,让它飘起来,再用硅片捞起来,等溶剂干了就固定住了

什么溶剂呢,我之前用丙酮,模板大约10个微米很厚,溶剂干了以后由于有张力,模板还是容易掉下来,不知道用什么样的溶剂?
谦虚谨慎的学习,与大家共勉!
5楼2014-10-20 08:52:48
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baisuo0120

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可以用聚亚酰胺胶带,我一直用这个胶带固定AAO模板
6楼2014-10-20 09:55:28
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

引用回帖:
6楼: Originally posted by baisuo0120 at 2014-10-20 09:55:28
可以用聚亚酰胺胶带,我一直用这个胶带固定AAO模板

您好,是不是用这个胶带把模板四周沾到硅片上?能保证中间没有太大的空隙吗?
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7楼2014-10-20 10:17:38
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baisuo0120

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
bluepanda4: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-10-20 15:05:04
引用回帖:
7楼: Originally posted by bluepanda4 at 2014-10-20 10:17:38
您好,是不是用这个胶带把模板四周沾到硅片上?能保证中间没有太大的空隙吗?...

能,就粘模板边就行,还得轻点把模板边的胶带粘实。应该不会有太大的空隙。
8楼2014-10-20 12:40:24
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zyoypx

金虫 (著名写手)


可以使用再薄点的AAO模板,然后从液相捞起来
10楼2014-12-08 14:17:17
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