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muerc

铜虫 (正式写手)

[求助] 关于AAO模板去除阻挡层

想请问一下虫友，最近在做AAO模板，如果我想保留铝基底，把铝基底当做对电极来进行电沉积，这时候模板的阻挡层怎么样去掉呢？尝试过使用逐步降压的方法，但是效果貌似不是很好，有没有哪位虫友对这方面比较了解，能否给个解答？
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啦啦啦啦啦啦~~~~
1楼2012-12-07 09:11:41
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

上木科技

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

阶梯降压还是有一层不导电连续阻挡层存在的，想要通电比较困难，建议要么交流电直接做，要么选双通AAO再蒸金，自己做导电层

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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12楼2013-04-23 23:37:43
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普通回帖

游子1289

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以考虑沉积一层导电层，再做电沉积
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学习与交流必不可少
2楼2012-12-07 09:19:58
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muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 游子1289 at 2012-12-07 09:19:58
可以考虑沉积一层导电层，再做电沉积

怎么沉积呢？铝基底没有去掉，这时候怎么沉积导电层呢？
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啦啦啦啦啦啦~~~~
3楼2012-12-07 09:22:26
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ryanstyle

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
磷酸腐蚀试过吗？控制腐蚀时间
如果要沉积导电层的话可以尝试ALD
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4楼2012-12-07 12:45:24
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你希望除掉表面氧化铝，Al芯导电，看似可行，实际上Al表面总有一层氧化物，其导电性很差的。一般都采用AAO膜板一面溅射一层Au做导电层。
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muerc
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
5楼2012-12-07 13:16:48
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muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ryanstyle at 2012-12-07 12:45:24
磷酸腐蚀试过吗？控制腐蚀时间
如果要沉积导电层的话可以尝试ALD

酸腐蚀也试过的，但是我需要的模板厚度比较大，一般在20个um左右，这时候酸腐蚀很难达到效果，而且很容易把模板腐蚀，所以不是很可行。这是我的观点，不知道你有没有什么好的想法。
你说说的ALD沉积导电层，这个是一个什么样的过程啊？能否讲的更详细一些？
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啦啦啦啦啦啦~~~~
6楼2012-12-07 14:04:14
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muerc

铜虫 (正式写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-12-07 13:16:48
你希望除掉表面氧化铝，Al芯导电，看似可行，实际上Al表面总有一层氧化物，其导电性很差的。一般都采用AAO膜板一面溅射一层Au做导电层。

但是我看有很多人都有这样做过啊，但是按照他们说的来貌似很难实现。我的目的就是为了保留铝基底，如果想要双通的话直接去掉铝基底就好了，所以溅射Au层是可行的方法，但是不太适合我。谢谢！
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啦啦啦啦啦啦~~~~
7楼2012-12-07 14:06:25
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ryanstyle

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by muerc at 2012-12-07 14:04:14
酸腐蚀也试过的，但是我需要的模板厚度比较大，一般在20个um左右，这时候酸腐蚀很难达到效果，而且很容易把模板腐蚀，所以不是很可行。这是我的观点，不知道你有没有什么好的想法。
你说说的ALD沉积导电层，这个是 ...

ALD的话现在可以通过不同源的混合沉积导电层啊
具体的我也不太清楚，只是知道可以沉积导电层
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8楼2012-12-08 09:48:27
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muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by ryanstyle at 2012-12-08 09:48:27
ALD的话现在可以通过不同源的混合沉积导电层啊
具体的我也不太清楚，只是知道可以沉积导电层...

好吧，谢谢了。
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啦啦啦啦啦啦~~~~
9楼2012-12-08 13:20:36
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mirclelulu

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

试过先阶梯降压法后磷酸侵蚀的办法吗？我做的也不去除铝基底，用交流法是可以沉积的
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10楼2012-12-10 15:00:37
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