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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于AAO模板去除阻挡层
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muerc

铜虫 (正式写手)

[求助] 关于AAO模板去除阻挡层

想请问一下虫友，最近在做AAO模板，如果我想保留铝基底，把铝基底当做对电极来进行电沉积，这时候模板的阻挡层怎么样去掉呢？尝试过使用逐步降压的方法，但是效果貌似不是很好，有没有哪位虫友对这方面比较了解，能否给个解答？
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啦啦啦啦啦啦~~~~
1楼 2012-12-07 09:11:41
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muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ryanstyle at 2012-12-07 12:45:24
磷酸腐蚀试过吗？控制腐蚀时间
如果要沉积导电层的话可以尝试ALD

酸腐蚀也试过的，但是我需要的模板厚度比较大，一般在20个um左右，这时候酸腐蚀很难达到效果，而且很容易把模板腐蚀，所以不是很可行。这是我的观点，不知道你有没有什么好的想法。
你说说的ALD沉积导电层，这个是一个什么样的过程啊？能否讲的更详细一些？
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啦啦啦啦啦啦~~~~
6楼2012-12-07 14:04:14
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游子1289

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以考虑沉积一层导电层，再做电沉积
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学习与交流必不可少
2楼2012-12-07 09:19:58
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muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 游子1289 at 2012-12-07 09:19:58
可以考虑沉积一层导电层，再做电沉积

怎么沉积呢？铝基底没有去掉，这时候怎么沉积导电层呢？
赞一下 回复此楼
啦啦啦啦啦啦~~~~
3楼2012-12-07 09:22:26
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ryanstyle

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
磷酸腐蚀试过吗？控制腐蚀时间
如果要沉积导电层的话可以尝试ALD
赞一下 回复此楼
4楼2012-12-07 12:45:24
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