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muerc

铜虫 (正式写手)

[求助] 关于AAO模板去除阻挡层

想请问一下虫友,最近在做AAO模板,如果我想保留铝基底,把铝基底当做对电极来进行电沉积,这时候模板的阻挡层怎么样去掉呢?尝试过使用逐步降压的方法,但是效果貌似不是很好,有没有哪位虫友对这方面比较了解,能否给个解答?
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啦啦啦啦啦啦~~~~
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muerc

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by ryanstyle at 2012-12-07 12:45:24
磷酸腐蚀试过吗?控制腐蚀时间
如果要沉积导电层的话可以尝试ALD

酸腐蚀也试过的,但是我需要的模板厚度比较大,一般在20个um左右,这时候酸腐蚀很难达到效果,而且很容易把模板腐蚀,所以不是很可行。这是我的观点,不知道你有没有什么好的想法。
你说说的ALD沉积导电层,这个是一个什么样的过程啊?能否讲的更详细一些?
啦啦啦啦啦啦~~~~
6楼2012-12-07 14:04:14
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游子1289

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以考虑沉积一层导电层,再做电沉积
学习与交流必不可少
2楼2012-12-07 09:19:58
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muerc

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 游子1289 at 2012-12-07 09:19:58
可以考虑沉积一层导电层,再做电沉积

怎么沉积呢?铝基底没有去掉,这时候怎么沉积导电层呢?
啦啦啦啦啦啦~~~~
3楼2012-12-07 09:22:26
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ryanstyle

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
磷酸腐蚀试过吗?控制腐蚀时间
如果要沉积导电层的话可以尝试ALD
4楼2012-12-07 12:45:24
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