24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
查看: 1897  |  回复: 12
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

muerc

铜虫 (正式写手)

[求助] 关于AAO模板去除阻挡层

想请问一下虫友,最近在做AAO模板,如果我想保留铝基底,把铝基底当做对电极来进行电沉积,这时候模板的阻挡层怎么样去掉呢?尝试过使用逐步降压的方法,但是效果貌似不是很好,有没有哪位虫友对这方面比较了解,能否给个解答?
回复此楼
啦啦啦啦啦啦~~~~
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ryanstyle

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by muerc at 2012-12-07 14:04:14
酸腐蚀也试过的,但是我需要的模板厚度比较大,一般在20个um左右,这时候酸腐蚀很难达到效果,而且很容易把模板腐蚀,所以不是很可行。这是我的观点,不知道你有没有什么好的想法。
你说说的ALD沉积导电层,这个是 ...

ALD的话现在可以通过不同源的混合沉积导电层啊
具体的我也不太清楚,只是知道可以沉积导电层
8楼2012-12-08 09:48:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

游子1289

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以考虑沉积一层导电层,再做电沉积
学习与交流必不可少
2楼2012-12-07 09:19:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muerc

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 游子1289 at 2012-12-07 09:19:58
可以考虑沉积一层导电层,再做电沉积

怎么沉积呢?铝基底没有去掉,这时候怎么沉积导电层呢?
啦啦啦啦啦啦~~~~
3楼2012-12-07 09:22:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ryanstyle

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
磷酸腐蚀试过吗?控制腐蚀时间
如果要沉积导电层的话可以尝试ALD
4楼2012-12-07 12:45:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见