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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » AAO模板的固定问题
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

[求助] AAO模板的固定问题 已有3人参与

想把AAO模板固定在硅片上，然后用作掩膜等离子刻蚀硅片，请问怎么把AAO模板固定在硅片上， 模板很薄，放在硅片上一吹就掉，希望能有什么样的方法把AAO模板贴合到硅片上，当然希望之间不能有太大的空隙，请大家不吝赐教啊
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@yswyx

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1楼 2014-10-10 16:58:34
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警幻珠

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by bluepanda4 at 2014-10-20 08:52:48
什么溶剂呢，我之前用丙酮，模板大约10个微米很厚，溶剂干了以后由于有张力，模板还是容易掉下来，不知道用什么样的溶剂？...

我当时是用去离子水试的，没有掉下来，不过还没进行下一步的实验。
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9楼2014-10-21 10:40:54
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普通回帖

zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
呵呵，不知用夹子在边上夹一下是否可以呢
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2楼2014-10-10 21:05:11
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。
引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2014-10-10 21:05:11
呵呵，不知用夹子在边上夹一下是否可以呢

不行的，一是模板很薄，夹力一大就碎了，二是要让硅片表面保持平面，不能用夹子
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3楼2014-10-11 08:22:36
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警幻珠

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

把模版放在溶剂上，让它飘起来，再用硅片捞起来，等溶剂干了就固定住了
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4楼2014-10-17 16:30:37
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。
引用回帖:
4楼: Originally posted by 警幻珠 at 2014-10-17 16:30:37
把模版放在溶剂上，让它飘起来，再用硅片捞起来，等溶剂干了就固定住了

什么溶剂呢，我之前用丙酮，模板大约10个微米很厚，溶剂干了以后由于有张力，模板还是容易掉下来，不知道用什么样的溶剂？
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5楼2014-10-20 08:52:48
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baisuo0120

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

可以用聚亚酰胺胶带，我一直用这个胶带固定AAO模板
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6楼2014-10-20 09:55:28
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。
引用回帖:
6楼: Originally posted by baisuo0120 at 2014-10-20 09:55:28
可以用聚亚酰胺胶带，我一直用这个胶带固定AAO模板

您好，是不是用这个胶带把模板四周沾到硅片上？能保证中间没有太大的空隙吗？
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7楼2014-10-20 10:17:38
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baisuo0120

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
bluepanda4: 金币+10, ★★★很有帮助 2014-10-20 15:05:04
引用回帖:
7楼: Originally posted by bluepanda4 at 2014-10-20 10:17:38
您好，是不是用这个胶带把模板四周沾到硅片上？能保证中间没有太大的空隙吗？...

能，就粘模板边就行，还得轻点把模板边的胶带粘实。应该不会有太大的空隙。
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8楼2014-10-20 12:40:24
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zyoypx

金虫 (著名写手)
可以使用再薄点的AAO模板，然后从液相捞起来
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10楼2014-12-08 14:17:17
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