| 查看: 2377 | 回复: 10 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
firstlaker金虫 (正式写手)
|
[求助]
光刻后腐蚀掉铁膜 已有3人参与
|
||
| 如题。我想做铁膜的pattern，发现lift -off 工艺做得不是很好。pattern直径1um左右，厚度45nm,间距2um左右。磁控溅射镀膜后，再经电子束光刻，然后去掉基片上的未被胶覆盖的铁膜，有合适的溶液么？电子束光刻时要使用什么样的胶才好？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 半导体发光 |
» 本帖@通知
» 猜你喜欢
材料化学专业sci转让 qq 1946569001
已经有0人回复
-
材料化学专业sci转让 qq 1946569001
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有75人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 进行光刻之后的刻蚀，有什么腐蚀液能刻蚀掉ITO，而不跟SiO2、SnO2反应？
已经有12人回复
- 想在衬底上做有图案的电极，光刻以后，怎么把不需要的电极部分腐蚀掉
已经有10人回复
- 盐酸做 ITO 腐蚀，AZ5214光刻胶做掩膜
已经有6人回复
firstlaker
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 795.7
- 散金: 30
- 红花: 5
- 帖子: 393
- 在线: 153.2小时
- 虫号: 2870009
- 注册: 2013-12-14
- 专业: 光学
6楼2014-09-26 12:40:31
lee0803
木虫 (小有名气)
- 应助: 34 (小学生)
- 金币: 2591.4
- 散金: 863
- 红花: 2
- 帖子: 155
- 在线: 253.4小时
- 虫号: 3087972
- 注册: 2014-03-25
- 性别: MM
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2014-09-25 14:39:53
exciting73 
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2014-09-25 16:15:29
firstlaker
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 795.7
- 散金: 30
- 红花: 5
- 帖子: 393
- 在线: 153.2小时
- 虫号: 2870009
- 注册: 2013-12-14
- 专业: 光学
4楼2014-09-25 17:19:42
40