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pld 硅锗量子点 请教
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pld做硅锗量子点，激光波长355nm，单发能量150mj左右，衬底温度500摄氏度，由于高能没调试好，就估摸着镀了10min，SEM照出来的图如下，请问黑色背景是长得薄膜吗？颜色较浅的部分是成堆的原子团吗？下一步该怎么调整（沉底温度、激光能量、镀的时间）？刚开始做实验，完全菜鸟，希望各位赐教！ sem图 |
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