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pld 硅锗量子点 请教
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pld做硅锗量子点,激光波长355nm,单发能量150mj左右,衬底温度500摄氏度,由于高能没调试好,就估摸着镀了10min,SEM照出来的图如下,请问黑色背景是长得薄膜吗?颜色较浅的部分是成堆的原子团吗?下一步该怎么调整(沉底温度、激光能量、镀的时间)?刚开始做实验,完全菜鸟,希望各位赐教! sem图 |
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