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求教,磁控溅射做的薄膜如何做XRD分析物相
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徐众享
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求教,磁控溅射做的薄膜如何做XRD分析物相
已有11人参与
大家好,我用磁控溅射在高速钢基体上镀膜,膜厚只有140纳米左右,由于一直是菜鸟一只,稀里糊涂的就去做了XRD,分析出来的峰基本是基体的峰,薄膜的峰基本没有,请教各位大神们,我这样要做什么样的XRD啊,要怎么做?
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1楼
2014-09-14 13:46:42
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徐众享
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5楼
:
Originally posted by
gxytju2008
at 2014-09-14 15:13:22
小角略入射,慢扫速,试试吧,还没有的话可能是晶型不好
恩,我在小木虫也搜了一下,发现好多问这个问题的,下午去学校分析测试中心问了下,说是有种专门做薄膜物相检测的XRD,可惜我们学校的没法测,也不知道以前那些学姐学长的XRD在学校做,分析是怎么弄出来的
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9楼
2014-09-14 16:40:57
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徐众享
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前面说错了,是1400纳米,1.4微米左右
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3楼
2014-09-14 14:16:52
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lzh_laubert
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2014-10-08 15:54:38
去做小角XRD 掠入射,扫的慢一些,这个膜已经很厚了,肯定也已测出来。
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼
2014-09-14 15:12:14
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gxytju2008
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徐众享: 金币+8,
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2014-10-08 15:55:37
小角略入射,慢扫速,试试吧,还没有的话可能是晶型不好
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5楼
2014-09-14 15:13:22
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