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lgh91

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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在线: 43.8小时
虫号: 2674661
注册: 2013-09-23
性别: GG
专业: 凝聚态物性I:结构、力学和

[求助] 关于FTO片子刻蚀的问题已有1人参与

我用的是Zn粉和稀盐酸刻蚀的，刻蚀时间1~2min，但是刻蚀区的电阻是兆欧级的，并不是无限大，什么原因？求助各位大虾！！

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风雨兼程

1楼 2014-09-01 14:31:58

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feiguang

金虫 (小有名气)

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专业: 半导体材料

麻烦问下您，你们刻蚀FTO是泡在溶液里吗还是直接悬空用蒸汽来刻蚀，还有每回大概刻蚀多长时间？谢谢！

3楼2015-05-15 10:49:12

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