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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 四甲基氢氧化铵会腐蚀氧化铝吗？
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ghostsyd

铜虫 (小有名气)

[求助] 四甲基氢氧化铵会腐蚀氧化铝吗？ 已有1人参与

大家好，请问有人光刻完用CD26 (也就是四甲基氢氧化铵)做develop吗？

请问这个四甲基氢氧化铵 会不会和氧化铝反应，从而腐蚀氧化铝啊？

先谢谢了
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物理妹子伤不起。。。。。
1楼 2014-08-28 00:29:46
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ghostsyd

铜虫 (小有名气)
求助啊，帮帮忙啊
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物理妹子伤不起。。。。。
2楼2014-08-30 19:00:56
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ghostsyd: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-09-01 17:23:04
γ-氧化铝估计会被腐蚀，而α-氧化铝估计不会。
赞一下 回复此楼
3楼2014-08-30 19:40:23
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张峰feng

新虫 (初入文坛)
同问啊。。。
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4楼2018-03-26 16:48:44
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红盒子66

银虫 (小有名气)
应该不会，氧化铝极难被腐蚀
赞一下 回复此楼
5楼2019-05-30 14:39:32
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