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ghostsyd

铜虫 (小有名气)

[求助] 四甲基氢氧化铵会腐蚀氧化铝吗? 已有1人参与

大家好,请问有人光刻完用CD26 (也就是四甲基氢氧化铵)做develop吗?

请问这个四甲基氢氧化铵 会不会和氧化铝反应,从而腐蚀氧化铝啊?

先谢谢了
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物理妹子伤不起。。。。。
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ghostsyd: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-09-01 17:23:04
γ-氧化铝估计会被腐蚀,而α-氧化铝估计不会。
3楼2014-08-30 19:40:23
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ghostsyd

铜虫 (小有名气)

求助啊,帮帮忙啊
物理妹子伤不起。。。。。
2楼2014-08-30 19:00:56
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红盒子66

银虫 (小有名气)

应该不会,氧化铝极难被腐蚀
5楼2019-05-30 14:39:32
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