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ghostsyd

铜虫 (小有名气)

[求助] 四甲基氢氧化铵会腐蚀氧化铝吗?已有1人参与

大家好,请问有人光刻完用CD26 (也就是四甲基氢氧化铵)做develop吗?

请问这个四甲基氢氧化铵 会不会和氧化铝反应,从而腐蚀氧化铝啊?

先谢谢了
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物理妹子伤不起。。。。。
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红盒子66

银虫 (小有名气)

应该不会,氧化铝极难被腐蚀
5楼2019-05-30 14:39:32
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