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phagerainbow

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
3D共聚焦肯定可以测的
大家很多回答的都是生物共聚焦的原理,光学的分辨极限是200nm,Z轴一般只能有400nm。

3D共聚焦的z轴是通过光栅尺加上软件拟合,可以达到10nm的精度。
如果需要更高的精度,可以通过表面轮廓仪来做的,这个是通过光的干涉来做的,精度更高,可以到0.1nm.

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21楼2014-08-29 10:01:21
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ponieer

金虫 (著名写手)

引用回帖:
19楼: Originally posted by babyoflion at 2014-08-29 08:21:14
你没懂我的意思哈,我的意思是 你的两个台阶表面都很光滑的话就能测出来,几十纳米都可以,如果表面很粗糙的话,就不好说了;这个的前提是要有结构在上面,如果没有结构在上面的话,一是做截面测膜厚,而是椭偏仪;...

那就是光刻胶显影完毕后,图形的深度应该是可以用显微镜测准的吧?
22楼2014-08-29 13:52:21
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ponieer

金虫 (著名写手)

引用回帖:
20楼: Originally posted by LEEZCZC at 2014-08-29 09:14:27
接触过基恩士的3D激光共聚焦,Z轴测量使用的是电机,好像是什么线性标尺模组的分辨率,不同型号能达到10nm~0.5nm。一般都是用椭偏仪的吧,也有一个Filmetrics膜厚测试仪,比较便宜

那是不是用3D激光共聚焦测深度的精度还是可以的?
23楼2014-08-29 13:59:32
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LEEZCZC

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
23楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-29 13:59:32
那是不是用3D激光共聚焦测深度的精度还是可以的?...

共聚焦测厚依赖于步进电机精度,z轴光栅精度,自动对焦和数据拟合,不同机台有差别,声称能到10nm,就看你能不能接受这样的误差咯。最稳妥就是找厂家给你测测样品。

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24楼2014-08-29 14:52:38
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ponieer

金虫 (著名写手)

送红花一朵
引用回帖:
24楼: Originally posted by LEEZCZC at 2014-08-29 14:52:38
共聚焦测厚依赖于步进电机精度,z轴光栅精度,自动对焦和数据拟合,不同机台有差别,声称能到10nm,就看你能不能接受这样的误差咯。最稳妥就是找厂家给你测测样品。
...

多谢

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25楼2014-08-29 16:23:31
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ponieer

金虫 (著名写手)

送红花一朵
引用回帖:
21楼: Originally posted by phagerainbow at 2014-08-29 10:01:21
3D共聚焦肯定可以测的
大家很多回答的都是生物共聚焦的原理,光学的分辨极限是200nm,Z轴一般只能有400nm。

3D共聚焦的z轴是通过光栅尺加上软件拟合,可以达到10nm的精度。
如果需要更高的精度,可以通过表面轮 ...

多谢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
26楼2014-08-29 16:24:53
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引用回帖:
15楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-28 23:11:34
那是不是几十纳米还是可能的?
...

27楼2014-08-29 16:36:22
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
22楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-29 13:52:21
那就是光刻胶显影完毕后,图形的深度应该是可以用显微镜测准的吧?...

恩~~~ 没有图形的话 共聚焦是怎么都测不出来的;那样椭偏仪才是王道
28楼2014-08-29 17:54:19
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younga0009

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
10楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-28 22:03:55
共聚焦根本不是这个用的啊。。而且一般也不作为纳米级运动,纳米级要用压电电机的,范围很窄的,不适合confocal这种的成像精度...

请问LEXT OLS4000文件能输出坐标(x,y,z)数据,然后再origin里面重构么?
Just for the dream!
29楼2014-10-27 15:09:37
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随心所动

银虫 (小有名气)

关键的还是样品表面要光滑,这样测得精度也相对比较高。我测的一个表面光滑的样品高度,其精度能达到几个纳米。该仪器自己说明其Z轴的测量精度是5nm。光刻胶显影后的表面按理也是很光滑的,测量精度也应该较高,你可以对比一下它和台阶仪测的结果,台阶仪测的精度是很高的。
随心奔跑,自由是方向
30楼2014-11-17 22:28:13
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