应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少
323/4返回列表上一页1234下一页
查看: 7297  |  回复: 31
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

phagerainbow

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
3D共聚焦肯定可以测的
大家很多回答的都是生物共聚焦的原理，光学的分辨极限是200nm，Z轴一般只能有400nm。

3D共聚焦的z轴是通过光栅尺加上软件拟合，可以达到10nm的精度。
如果需要更高的精度，可以通过表面轮廓仪来做的，这个是通过光的干涉来做的，精度更高，可以到0.1nm.
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

ponieer
21楼2014-08-29 10:01:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ponieer

金虫 (著名写手)
引用回帖:
19楼: Originally posted by babyoflion at 2014-08-29 08:21:14
你没懂我的意思哈，我的意思是 你的两个台阶表面都很光滑的话就能测出来，几十纳米都可以，如果表面很粗糙的话，就不好说了；这个的前提是要有结构在上面，如果没有结构在上面的话，一是做截面测膜厚，而是椭偏仪；...

那就是光刻胶显影完毕后，图形的深度应该是可以用显微镜测准的吧？
赞一下 回复此楼
22楼2014-08-29 13:52:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ponieer

金虫 (著名写手)
引用回帖:
20楼: Originally posted by LEEZCZC at 2014-08-29 09:14:27
接触过基恩士的3D激光共聚焦，Z轴测量使用的是电机，好像是什么线性标尺模组的分辨率，不同型号能达到10nm~0.5nm。一般都是用椭偏仪的吧，也有一个Filmetrics膜厚测试仪，比较便宜

那是不是用3D激光共聚焦测深度的精度还是可以的？
赞一下 回复此楼
23楼2014-08-29 13:59:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

LEEZCZC

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
23楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-29 13:59:32
那是不是用3D激光共聚焦测深度的精度还是可以的？...

共聚焦测厚依赖于步进电机精度，z轴光栅精度，自动对焦和数据拟合，不同机台有差别，声称能到10nm，就看你能不能接受这样的误差咯。最稳妥就是找厂家给你测测样品。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

ponieer
24楼2014-08-29 14:52:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ponieer

金虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
24楼: Originally posted by LEEZCZC at 2014-08-29 14:52:38
共聚焦测厚依赖于步进电机精度，z轴光栅精度，自动对焦和数据拟合，不同机台有差别，声称能到10nm，就看你能不能接受这样的误差咯。最稳妥就是找厂家给你测测样品。
...

多谢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼
25楼2014-08-29 16:23:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ponieer

金虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
21楼: Originally posted by phagerainbow at 2014-08-29 10:01:21
3D共聚焦肯定可以测的
大家很多回答的都是生物共聚焦的原理，光学的分辨极限是200nm，Z轴一般只能有400nm。

3D共聚焦的z轴是通过光栅尺加上软件拟合，可以达到10nm的精度。
如果需要更高的精度，可以通过表面轮 ...

多谢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼
26楼2014-08-29 16:24:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

西风卷帘
引用回帖:
15楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-28 23:11:34
那是不是几十纳米还是可能的？
...

恩
27楼2014-08-29 16:36:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
22楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-29 13:52:21
那就是光刻胶显影完毕后，图形的深度应该是可以用显微镜测准的吧？...

恩~~~ 没有图形的话 共聚焦是怎么都测不出来的；那样椭偏仪才是王道
赞一下 回复此楼
28楼2014-08-29 17:54:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

younga0009

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-28 22:03:55
共聚焦根本不是这个用的啊。。而且一般也不作为纳米级运动，纳米级要用压电电机的，范围很窄的，不适合confocal这种的成像精度...

请问LEXT OLS4000文件能输出坐标(x,y,z)数据，然后再origin里面重构么？
赞一下 回复此楼
Just for the dream!
29楼2014-10-27 15:09:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

随心所动

银虫 (小有名气)
关键的还是样品表面要光滑，这样测得精度也相对比较高。我测的一个表面光滑的样品高度，其精度能达到几个纳米。该仪器自己说明其Z轴的测量精度是5nm。光刻胶显影后的表面按理也是很光滑的，测量精度也应该较高，你可以对比一下它和台阶仪测的结果，台阶仪测的精度是很高的。
赞一下 回复此楼
随心奔跑，自由是方向
30楼2014-11-17 22:28:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ponieer 的主题更新
323/4返回列表上一页1234下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 什么时候开奖？ +4 CrisMessi 2026-08-18 4/200 2026-08-19 00:53 by gatelove
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +7 启萌科技 2026-08-12 27/1350 2026-08-18 21:44 by Noways
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低？主要原因有哪些？ +3 瞬息宇宙 2026-08-15 3/150 2026-08-18 21:40 by xiaohuixin
[基金申请] 2027广东省杰青 +3 奶牛小黑 2026-08-15 9/450 2026-08-18 20:09 by 奶牛小黑
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +51 医学老男孩 2026-08-13 110/5500 2026-08-18 19:07 by icerianxia
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +8 基诺咪客 2026-08-17 11/550 2026-08-18 17:13 by 悠然熊猫
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +9 yuleib84 2026-08-18 10/500 2026-08-18 16:52 by archvillain
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？ +13 Ldrop2023 2026-08-13 16/800 2026-08-18 12:25 by 淀粉搬运工
[基金申请] 快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。 +4 Tide man 2026-08-14 5/250 2026-08-18 11:35 by Tide man
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +8 wangze12014 2026-08-14 10/500 2026-08-17 17:05 by xter9665
[基金申请] 今天系统多次维护，明天很可能放榜！ +8 zju2000 2026-08-16 9/450 2026-08-17 12:20 by lmz0216
[基金申请] 重要来源：本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] Filecode 又变了，巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 结合人工智能，周易传统文化，filecode打分制来了，3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭