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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少
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phagerainbow

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
3D共聚焦肯定可以测的
大家很多回答的都是生物共聚焦的原理，光学的分辨极限是200nm，Z轴一般只能有400nm。

3D共聚焦的z轴是通过光栅尺加上软件拟合，可以达到10nm的精度。
如果需要更高的精度，可以通过表面轮廓仪来做的，这个是通过光的干涉来做的，精度更高，可以到0.1nm.
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ponieer
21楼2014-08-29 10:01:21
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ponieer

金虫 (著名写手)
引用回帖:
19楼: Originally posted by babyoflion at 2014-08-29 08:21:14
你没懂我的意思哈，我的意思是 你的两个台阶表面都很光滑的话就能测出来，几十纳米都可以，如果表面很粗糙的话，就不好说了；这个的前提是要有结构在上面，如果没有结构在上面的话，一是做截面测膜厚，而是椭偏仪；...

那就是光刻胶显影完毕后，图形的深度应该是可以用显微镜测准的吧？
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22楼2014-08-29 13:52:21
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ponieer

金虫 (著名写手)
引用回帖:
20楼: Originally posted by LEEZCZC at 2014-08-29 09:14:27
接触过基恩士的3D激光共聚焦，Z轴测量使用的是电机，好像是什么线性标尺模组的分辨率，不同型号能达到10nm~0.5nm。一般都是用椭偏仪的吧，也有一个Filmetrics膜厚测试仪，比较便宜

那是不是用3D激光共聚焦测深度的精度还是可以的？
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23楼2014-08-29 13:59:32
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LEEZCZC

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
23楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-29 13:59:32
那是不是用3D激光共聚焦测深度的精度还是可以的？...

共聚焦测厚依赖于步进电机精度，z轴光栅精度，自动对焦和数据拟合，不同机台有差别，声称能到10nm，就看你能不能接受这样的误差咯。最稳妥就是找厂家给你测测样品。

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ponieer
24楼2014-08-29 14:52:38
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ponieer

金虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
24楼: Originally posted by LEEZCZC at 2014-08-29 14:52:38
共聚焦测厚依赖于步进电机精度，z轴光栅精度，自动对焦和数据拟合，不同机台有差别，声称能到10nm，就看你能不能接受这样的误差咯。最稳妥就是找厂家给你测测样品。
...

多谢

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25楼2014-08-29 16:23:31
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ponieer

金虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
21楼: Originally posted by phagerainbow at 2014-08-29 10:01:21
3D共聚焦肯定可以测的
大家很多回答的都是生物共聚焦的原理，光学的分辨极限是200nm，Z轴一般只能有400nm。

3D共聚焦的z轴是通过光栅尺加上软件拟合，可以达到10nm的精度。
如果需要更高的精度，可以通过表面轮 ...

多谢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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26楼2014-08-29 16:24:53
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西风卷帘
引用回帖:
15楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-28 23:11:34
那是不是几十纳米还是可能的？
...

恩
27楼2014-08-29 16:36:22
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
22楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-29 13:52:21
那就是光刻胶显影完毕后，图形的深度应该是可以用显微镜测准的吧？...

恩~~~ 没有图形的话 共聚焦是怎么都测不出来的；那样椭偏仪才是王道
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28楼2014-08-29 17:54:19
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younga0009

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-28 22:03:55
共聚焦根本不是这个用的啊。。而且一般也不作为纳米级运动，纳米级要用压电电机的，范围很窄的，不适合confocal这种的成像精度...

请问LEXT OLS4000文件能输出坐标(x,y,z)数据，然后再origin里面重构么？
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Just for the dream!
29楼2014-10-27 15:09:37
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随心所动

银虫 (小有名气)
关键的还是样品表面要光滑，这样测得精度也相对比较高。我测的一个表面光滑的样品高度，其精度能达到几个纳米。该仪器自己说明其Z轴的测量精度是5nm。光刻胶显影后的表面按理也是很光滑的，测量精度也应该较高，你可以对比一下它和台阶仪测的结果，台阶仪测的精度是很高的。
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随心奔跑，自由是方向
30楼2014-11-17 22:28:13
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