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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少
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ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少 已有5人参与

请教大家，比如说奥林巴斯LEXT OLS4000 3D激光共聚焦显微镜这台机器，可以测200nm左右厚度的光刻胶的厚度吗？？误差大概是多少？
还有纵向是什么原理？是通过前后表面光的干涉吗？？

请大家不吝赐号
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1楼 2014-08-27 19:46:49
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随心所动

银虫 (小有名气)
关键的还是样品表面要光滑，这样测得精度也相对比较高。我测的一个表面光滑的样品高度，其精度能达到几个纳米。该仪器自己说明其Z轴的测量精度是5nm。光刻胶显影后的表面按理也是很光滑的，测量精度也应该较高，你可以对比一下它和台阶仪测的结果，台阶仪测的精度是很高的。
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随心奔跑，自由是方向
30楼2014-11-17 22:28:13
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★有帮助 2014-08-28 21:15:29
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊
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4楼2014-08-27 20:36:34
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:16:00
如果台阶比较好，轻松可以测到
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5楼2014-08-27 21:16:49
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西风卷帘

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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ponieer: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:14:25
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率，Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。
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6楼2014-08-28 18:33:59
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