24小时热门版块排行榜    

查看: 7297  |  回复: 31

ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少 已有5人参与

请教大家,比如说奥林巴斯LEXT OLS4000 3D激光共聚焦显微镜这台机器,可以测200nm左右厚度的光刻胶的厚度吗??误差大概是多少?
还有纵向是什么原理?是通过前后表面光的干涉吗??

请大家不吝赐号
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料制备与表征 科研设备设施

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

西风卷帘

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ponieer: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:14:25
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率,Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。
6楼2014-08-28 18:33:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

ponieer

金虫 (著名写手)

2楼2014-08-27 19:59:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ponieer

金虫 (著名写手)

3楼2014-08-27 20:14:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ponieer: 金币+2, 有帮助 2014-08-28 21:15:29
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊
4楼2014-08-27 20:36:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:16:00
如果台阶比较好,轻松可以测到
5楼2014-08-27 21:16:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ponieer

金虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 西风卷帘 at 2014-08-28 18:33:59
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率,Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。

3D共聚焦通过精密机械的运动,是不是可以把精度控制在十多个nm内?
7楼2014-08-28 21:15:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ponieer

金虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-27 20:36:34
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊

椭偏仪不是麻烦嘛
8楼2014-08-28 21:15:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ponieer

金虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by babyoflion at 2014-08-27 21:16:49
如果台阶比较好,轻松可以测到

我晓得台阶可以测,我就想知道3D共聚焦显微镜可以不可以测呢
9楼2014-08-28 21:16:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
8楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-28 21:15:52
椭偏仪不是麻烦嘛...

共聚焦根本不是这个用的啊。。而且一般也不作为纳米级运动,纳米级要用压电电机的,范围很窄的,不适合confocal这种的成像精度
10楼2014-08-28 22:03:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ponieer 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 什么时候开奖? +4 CrisMessi 2026-08-18 4/200 2026-08-19 00:53 by gatelove
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低?主要原因有哪些? +3 瞬息宇宙 2026-08-15 3/150 2026-08-18 21:40 by xiaohuixin
[基金申请] 2027广东省杰青 +3 奶牛小黑 2026-08-15 9/450 2026-08-18 20:09 by 奶牛小黑
[基金申请] 朋友圈看到的 +4 wangzilk 2026-08-18 5/250 2026-08-18 19:25 by wangzilk
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +51 医学老男孩 2026-08-13 110/5500 2026-08-18 19:07 by icerianxia
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +8 基诺咪客 2026-08-17 11/550 2026-08-18 17:13 by 悠然熊猫
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +13 Ldrop2023 2026-08-13 16/800 2026-08-18 12:25 by 淀粉搬运工
[基金申请] 快农历七夕节了,轻松一下,男人悄悄话,女施主请不要进来。 +4 Tide man 2026-08-14 5/250 2026-08-18 11:35 by Tide man
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +8 wangze12014 2026-08-14 10/500 2026-08-17 17:05 by xter9665
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +8 zju2000 2026-08-16 9/450 2026-08-17 12:20 by lmz0216
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 各位道友,我要去昆明玩几天,回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
信息提示
请填处理意见