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ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少 已有5人参与

请教大家,比如说奥林巴斯LEXT OLS4000 3D激光共聚焦显微镜这台机器,可以测200nm左右厚度的光刻胶的厚度吗??误差大概是多少?
还有纵向是什么原理?是通过前后表面光的干涉吗??

请大家不吝赐号
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西风卷帘

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ponieer: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:14:25
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率,Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。
6楼2014-08-28 18:33:59
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普通回帖

ponieer

金虫 (著名写手)

2楼2014-08-27 19:59:28
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ponieer

金虫 (著名写手)

3楼2014-08-27 20:14:09
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
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ponieer: 金币+2, ★有帮助 2014-08-28 21:15:29
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊
4楼2014-08-27 20:36:34
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:16:00
如果台阶比较好,轻松可以测到
5楼2014-08-27 21:16:49
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ponieer

金虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 西风卷帘 at 2014-08-28 18:33:59
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率,Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。

3D共聚焦通过精密机械的运动,是不是可以把精度控制在十多个nm内?
7楼2014-08-28 21:15:09
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ponieer

金虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-27 20:36:34
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊

椭偏仪不是麻烦嘛
8楼2014-08-28 21:15:52
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ponieer

金虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by babyoflion at 2014-08-27 21:16:49
如果台阶比较好,轻松可以测到

我晓得台阶可以测,我就想知道3D共聚焦显微镜可以不可以测呢
9楼2014-08-28 21:16:29
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
8楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-28 21:15:52
椭偏仪不是麻烦嘛...

共聚焦根本不是这个用的啊。。而且一般也不作为纳米级运动,纳米级要用压电电机的,范围很窄的,不适合confocal这种的成像精度
10楼2014-08-28 22:03:55
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