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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少
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ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少 已有5人参与

请教大家，比如说奥林巴斯LEXT OLS4000 3D激光共聚焦显微镜这台机器，可以测200nm左右厚度的光刻胶的厚度吗？？误差大概是多少？
还有纵向是什么原理？是通过前后表面光的干涉吗？？

请大家不吝赐号
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薄膜材料制备与表征 科研设备设施

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1楼 2014-08-27 19:46:49
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西风卷帘

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:14:25
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率，Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。
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6楼2014-08-28 18:33:59
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ponieer

金虫 (著名写手)
2楼2014-08-27 19:59:28
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ponieer

金虫 (著名写手)
3楼2014-08-27 20:14:09
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★有帮助 2014-08-28 21:15:29
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊
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4楼2014-08-27 20:36:34
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:16:00
如果台阶比较好，轻松可以测到
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5楼2014-08-27 21:16:49
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ponieer

金虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 西风卷帘 at 2014-08-28 18:33:59
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率，Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。

3D共聚焦通过精密机械的运动，是不是可以把精度控制在十多个nm内？
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7楼2014-08-28 21:15:09
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ponieer

金虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-27 20:36:34
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊

椭偏仪不是麻烦嘛
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8楼2014-08-28 21:15:52
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ponieer

金虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by babyoflion at 2014-08-27 21:16:49
如果台阶比较好，轻松可以测到

我晓得台阶可以测，我就想知道3D共聚焦显微镜可以不可以测呢
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9楼2014-08-28 21:16:29
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
8楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-28 21:15:52
椭偏仪不是麻烦嘛...

共聚焦根本不是这个用的啊。。而且一般也不作为纳米级运动，纳米级要用压电电机的，范围很窄的，不适合confocal这种的成像精度
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10楼2014-08-28 22:03:55
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