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ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少 已有5人参与

请教大家,比如说奥林巴斯LEXT OLS4000 3D激光共聚焦显微镜这台机器,可以测200nm左右厚度的光刻胶的厚度吗??误差大概是多少?
还有纵向是什么原理?是通过前后表面光的干涉吗??

请大家不吝赐号
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:16:00
如果台阶比较好,轻松可以测到
5楼2014-08-27 21:16:49
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-28 21:16:29
我晓得台阶可以测,我就想知道3D共聚焦显微镜可以不可以测呢...

你没懂我的意思哈,我的意思是 你的两个台阶表面都很光滑的话就能测出来,几十纳米都可以,如果表面很粗糙的话,就不好说了;这个的前提是要有结构在上面,如果没有结构在上面的话,一是做截面测膜厚,而是椭偏仪;
19楼2014-08-29 08:21:14
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babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
22楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-29 13:52:21
那就是光刻胶显影完毕后,图形的深度应该是可以用显微镜测准的吧?...

恩~~~ 没有图形的话 共聚焦是怎么都测不出来的;那样椭偏仪才是王道
28楼2014-08-29 17:54:19
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