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ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少 已有5人参与

请教大家,比如说奥林巴斯LEXT OLS4000 3D激光共聚焦显微镜这台机器,可以测200nm左右厚度的光刻胶的厚度吗??误差大概是多少?
还有纵向是什么原理?是通过前后表面光的干涉吗??

请大家不吝赐号
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西风卷帘

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【答案】应助回帖

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ponieer: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:14:25
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率,Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。
6楼2014-08-28 18:33:59
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西风卷帘

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引用回帖:
7楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-28 21:15:09
3D共聚焦通过精密机械的运动,是不是可以把精度控制在十多个nm内?...

共聚焦不过是一种成像方式。也需要显微镜镜头去看,只不过是能够提供比普通显微镜更出色的分辨率而已。(一般的共聚焦可以做到分辨率0.14um)。而传统的光学显微镜只能到0.35um。一般对纯粹观察的设备来说,不存在精度的概念。只不过现在的共聚焦显微镜都用来看一下表面形貌或者轮廓。都会配电动载物台,载物台的精度也很难保证在十几个纳米以内。
14楼2014-08-28 23:08:53
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西风卷帘

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引用回帖:
15楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-28 23:11:34
那是不是几十纳米还是可能的?
...

27楼2014-08-29 16:36:22
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