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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少
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ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少 已有5人参与

请教大家，比如说奥林巴斯LEXT OLS4000 3D激光共聚焦显微镜这台机器，可以测200nm左右厚度的光刻胶的厚度吗？？误差大概是多少？
还有纵向是什么原理？是通过前后表面光的干涉吗？？

请大家不吝赐号
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1楼 2014-08-27 19:46:49
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西风卷帘

捐助贵宾 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-28 21:15:09
3D共聚焦通过精密机械的运动，是不是可以把精度控制在十多个nm内？...

共聚焦不过是一种成像方式。也需要显微镜镜头去看，只不过是能够提供比普通显微镜更出色的分辨率而已。（一般的共聚焦可以做到分辨率0.14um）。而传统的光学显微镜只能到0.35um。一般对纯粹观察的设备来说，不存在精度的概念。只不过现在的共聚焦显微镜都用来看一下表面形貌或者轮廓。都会配电动载物台，载物台的精度也很难保证在十几个纳米以内。
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14楼2014-08-28 23:08:53
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
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ponieer: 金币+2, ★有帮助 2014-08-28 21:15:29
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊
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4楼2014-08-27 20:36:34
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:16:00
如果台阶比较好，轻松可以测到
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5楼2014-08-27 21:16:49
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西风卷帘

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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ponieer: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:14:25
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率，Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。
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6楼2014-08-28 18:33:59
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