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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少
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ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少 已有5人参与

请教大家，比如说奥林巴斯LEXT OLS4000 3D激光共聚焦显微镜这台机器，可以测200nm左右厚度的光刻胶的厚度吗？？误差大概是多少？
还有纵向是什么原理？是通过前后表面光的干涉吗？？

请大家不吝赐号
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1楼 2014-08-27 19:46:49
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LEEZCZC

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
23楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-29 13:59:32
那是不是用3D激光共聚焦测深度的精度还是可以的？...

共聚焦测厚依赖于步进电机精度，z轴光栅精度，自动对焦和数据拟合，不同机台有差别，声称能到10nm，就看你能不能接受这样的误差咯。最稳妥就是找厂家给你测测样品。

[ 发自小木虫客户端 ]
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ponieer
24楼2014-08-29 14:52:38
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★有帮助 2014-08-28 21:15:29
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊
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4楼2014-08-27 20:36:34
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:16:00
如果台阶比较好，轻松可以测到
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5楼2014-08-27 21:16:49
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西风卷帘

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:14:25
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率，Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。
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6楼2014-08-28 18:33:59
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