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ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少 已有5人参与

请教大家,比如说奥林巴斯LEXT OLS4000 3D激光共聚焦显微镜这台机器,可以测200nm左右厚度的光刻胶的厚度吗??误差大概是多少?
还有纵向是什么原理?是通过前后表面光的干涉吗??

请大家不吝赐号
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LEEZCZC

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
23楼: Originally posted by ponieer at 2014-08-29 13:59:32
那是不是用3D激光共聚焦测深度的精度还是可以的?...

共聚焦测厚依赖于步进电机精度,z轴光栅精度,自动对焦和数据拟合,不同机台有差别,声称能到10nm,就看你能不能接受这样的误差咯。最稳妥就是找厂家给你测测样品。

[ 发自小木虫客户端 ]

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24楼2014-08-29 14:52:38
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ponieer: 金币+2, 有帮助 2014-08-28 21:15:29
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊
4楼2014-08-27 20:36:34
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:16:00
如果台阶比较好,轻松可以测到
5楼2014-08-27 21:16:49
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西风卷帘

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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ponieer: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:14:25
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率,Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。
6楼2014-08-28 18:33:59
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