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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少
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ponieer

金虫 (著名写手)

[求助] 激光共聚焦显微镜的纵向分辨率是多少 已有5人参与

请教大家，比如说奥林巴斯LEXT OLS4000 3D激光共聚焦显微镜这台机器，可以测200nm左右厚度的光刻胶的厚度吗？？误差大概是多少？
还有纵向是什么原理？是通过前后表面光的干涉吗？？

请大家不吝赐号
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1楼 2014-08-27 19:46:49
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ponieer

金虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
21楼: Originally posted by phagerainbow at 2014-08-29 10:01:21
3D共聚焦肯定可以测的
大家很多回答的都是生物共聚焦的原理，光学的分辨极限是200nm，Z轴一般只能有400nm。

3D共聚焦的z轴是通过光栅尺加上软件拟合，可以达到10nm的精度。
如果需要更高的精度，可以通过表面轮 ...

多谢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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26楼2014-08-29 16:24:53
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★有帮助 2014-08-28 21:15:29
200nm光刻胶。。貌似椭偏仪比较常用啊
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4楼2014-08-27 20:36:34
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+2, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:16:00
如果台阶比较好，轻松可以测到
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5楼2014-08-27 21:16:49
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西风卷帘

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ponieer: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-08-28 21:14:25
共聚焦只能提供较好的XY方向的分辨率，Z轴不好测。基本上用椭偏仪或者白光干涉来测Z轴高度。
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2014-08-28 18:33:59
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