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583860729

禁虫 (小有名气)

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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

我的样品之前做了离子注入,离子束轰击样品过程中产生了大量的热量,光刻胶发生了碳化。
我的样品是不想让光刻胶发生碳化的,因为碳化后很难洗掉。

根据以上经验,看起来高温可以使胶发生碳化。
但是具体如何操作,包括温度和时间,这个我就不是很了解了。
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
2楼2014-08-21 16:44:34
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583860729

禁虫 (小有名气)

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3楼2014-08-22 11:14:24
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-22 11:14:24
我做的600,700.800三个温度,然后横向扩展比较严重,显微镜下观察仍然是红色,没有变成黑色。900,1000的时候,就只剩下干净的基质了,上面的光刻胶没了...

为什么一定要使9000A碳化?主要是什么应用?也许有其他材料适合。
900、1000度烘烤之后光刻胶没有了吗?
离子注入或其他干刻方法除了使光刻胶温度升高以外,还有离子气体的轰击作用,光刻胶会分解。
4楼2014-08-22 20:45:33
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583860729

禁虫 (小有名气)

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5楼2014-08-23 12:38:38
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exciting73

金虫 (著名写手)


引用回帖:
5楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-23 12:38:38
必须使用9000A,做电路。没变成黑色是因为没有完全碳化。900,1000度后光刻胶没了。...

是把9000A做好图案后直接碳化做成电路吗?有这方面的应用文章吗?
6楼2014-08-24 09:43:34
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这里显然不能用光刻胶做掩膜板,做铝掩膜吧
7楼2014-08-24 10:19:48
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583860729

禁虫 (小有名气)

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8楼2014-08-24 13:01:54
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-24 13:01:54
没什么不行?我要做Lift-off...

做lift-off一定要使用9000A吗?方便的话能否站内消息把工艺介绍下,也许会有别的办法,不必碳化
9楼2014-09-11 21:30:06
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