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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 9000A的碳化
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583860729

禁虫 (小有名气)
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1楼 2014-08-21 15:00:54
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
我的样品之前做了离子注入，离子束轰击样品过程中产生了大量的热量，光刻胶发生了碳化。
我的样品是不想让光刻胶发生碳化的，因为碳化后很难洗掉。

根据以上经验，看起来高温可以使胶发生碳化。
但是具体如何操作，包括温度和时间，这个我就不是很了解了。
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Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
2楼2014-08-21 16:44:34
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583860729

禁虫 (小有名气)
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3楼2014-08-22 11:14:24
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-22 11:14:24
我做的600,700.800三个温度，然后横向扩展比较严重，显微镜下观察仍然是红色，没有变成黑色。900,1000的时候，就只剩下干净的基质了，上面的光刻胶没了...

为什么一定要使9000A碳化？主要是什么应用？也许有其他材料适合。
900、1000度烘烤之后光刻胶没有了吗？
离子注入或其他干刻方法除了使光刻胶温度升高以外，还有离子气体的轰击作用，光刻胶会分解。
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4楼2014-08-22 20:45:33
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583860729

禁虫 (小有名气)
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5楼2014-08-23 12:38:38
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-23 12:38:38
必须使用9000A，做电路。没变成黑色是因为没有完全碳化。900,1000度后光刻胶没了。...

是把9000A做好图案后直接碳化做成电路吗？有这方面的应用文章吗？
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6楼2014-08-24 09:43:34
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这里显然不能用光刻胶做掩膜板，做铝掩膜吧
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7楼2014-08-24 10:19:48
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583860729

禁虫 (小有名气)
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8楼2014-08-24 13:01:54
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-24 13:01:54
没什么不行？我要做Lift-off...

做lift-off一定要使用9000A吗？方便的话能否站内消息把工艺介绍下，也许会有别的办法，不必碳化
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9楼2014-09-11 21:30:06
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