应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 9000A的碳化
91/1返回列表
查看: 1161  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

583860729

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-08-21 15:00:54
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
我的样品之前做了离子注入，离子束轰击样品过程中产生了大量的热量，光刻胶发生了碳化。
我的样品是不想让光刻胶发生碳化的，因为碳化后很难洗掉。

根据以上经验，看起来高温可以使胶发生碳化。
但是具体如何操作，包括温度和时间，这个我就不是很了解了。
赞一下 回复此楼
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
2楼2014-08-21 16:44:34
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

583860729

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2014-08-22 11:14:24
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-22 11:14:24
我做的600,700.800三个温度，然后横向扩展比较严重，显微镜下观察仍然是红色，没有变成黑色。900,1000的时候，就只剩下干净的基质了，上面的光刻胶没了...

为什么一定要使9000A碳化？主要是什么应用？也许有其他材料适合。
900、1000度烘烤之后光刻胶没有了吗？
离子注入或其他干刻方法除了使光刻胶温度升高以外，还有离子气体的轰击作用，光刻胶会分解。
赞一下 回复此楼
4楼2014-08-22 20:45:33
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

583860729

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2014-08-23 12:38:38
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-23 12:38:38
必须使用9000A，做电路。没变成黑色是因为没有完全碳化。900,1000度后光刻胶没了。...

是把9000A做好图案后直接碳化做成电路吗？有这方面的应用文章吗？
赞一下 回复此楼
6楼2014-08-24 09:43:34
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这里显然不能用光刻胶做掩膜板，做铝掩膜吧
赞一下 回复此楼
7楼2014-08-24 10:19:48
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

583860729

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
8楼2014-08-24 13:01:54
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-24 13:01:54
没什么不行？我要做Lift-off...

做lift-off一定要使用9000A吗？方便的话能否站内消息把工艺介绍下，也许会有别的办法，不必碳化
赞一下 回复此楼
9楼2014-09-11 21:30:06
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 583860729 的主题更新
91/1返回列表
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭