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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » 多弧离子镀靶材如何选择？
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破茧展翅

新虫 (初入文坛)

[求助] 多弧离子镀靶材如何选择？ 已有1人参与

看了几篇制备多元硬质薄膜（含si）的文献，没有一篇是用单质硅的，都是用的硅的合金靶！为什么呢？选择靶材又有什么要求呢？
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1楼 2014-08-14 08:42:35
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流泪的沙砾

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

个人认为单质硅的导电性较其他金属较差，靶材表面不会产生弧斑（具体没有试过），磁场也无法控制。因此硅通常与其他金属组成复合靶材作为阴极靶材。一般要求复合靶材成分分布要均匀，要致密。
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别人对自己的否定都是假象，只有自己的才是最真的
2楼2014-09-13 11:01:14
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