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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

[求助] 谁用过铝硅靶啊

谁用过合金硅靶材啊,小弟正准备做含硅类薄膜,要买铝硅靶或钛硅靶之类的合金硅靶。
在百度上搜了很多,都说很不错,但不知道哪家比较好,由于第一次买,不懂行情,特来问问哪位大侠用过,在哪买的,怎么样

顺便问下,铝硅靶用中频磁控溅射效果怎么样?多弧离子镀应该不能用吧
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做学术是一件严谨的事
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liulinlin

至尊木虫 (职业作家)

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葵花点穴手h: 金币+1, 有帮助 2012-03-21 10:08:24
你是用什么方法制备薄膜?溅射技术吗?我曾采用双辉技术做过Ti-Si薄膜,靶材就是用Ti和Si粉直接压制的,买的合金靶不见得好。
胜败兵家事不期,包羞忍耻是男儿!
2楼2011-12-30 13:18:20
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by liulinlin at 2011-12-30 13:18:20:
你是用什么方法制备薄膜?溅射技术吗?我曾采用双辉技术做过Ti-Si薄膜,靶材就是用Ti和Si粉直接压制的,买的合金靶不见得好。

TiSi靶挺贵的靶,问得2、3千一个,现想用Si靶了,Si靶中频能起辉么
做学术是一件严谨的事
3楼2011-12-31 23:19:25
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liulinlin

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖


葵花点穴手h: 金币+1 2012-03-21 10:08:29
我没有直接用过硅靶,不过这些非金属元素溅射率应该很低。
胜败兵家事不期,包羞忍耻是男儿!
4楼2012-01-01 10:13:20
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