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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 科研生活 » 谁用过铝硅靶啊
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)

[求助] 谁用过铝硅靶啊

谁用过合金硅靶材啊，小弟正准备做含硅类薄膜，要买铝硅靶或钛硅靶之类的合金硅靶。
在百度上搜了很多，都说很不错，但不知道哪家比较好，由于第一次买，不懂行情，特来问问哪位大侠用过，在哪买的，怎么样

顺便问下，铝硅靶用中频磁控溅射效果怎么样？多弧离子镀应该不能用吧
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做学术是一件严谨的事
1楼2011-12-28 15:43:11
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葵花点穴手h

银虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by liulinlin at 2011-12-30 13:18:20:
你是用什么方法制备薄膜？溅射技术吗？我曾采用双辉技术做过Ti-Si薄膜，靶材就是用Ti和Si粉直接压制的，买的合金靶不见得好。

TiSi靶挺贵的靶，问得2、3千一个，现想用Si靶了，Si靶中频能起辉么
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做学术是一件严谨的事
3楼2011-12-31 23:19:25
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liulinlin

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
葵花点穴手h: 金币+1, ★有帮助 2012-03-21 10:08:24
你是用什么方法制备薄膜？溅射技术吗？我曾采用双辉技术做过Ti-Si薄膜，靶材就是用Ti和Si粉直接压制的，买的合金靶不见得好。
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胜败兵家事不期，包羞忍耻是男儿！
2楼2011-12-30 13:18:20
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liulinlin

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★
葵花点穴手h: 金币+1 2012-03-21 10:08:29
我没有直接用过硅靶，不过这些非金属元素溅射率应该很低。
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胜败兵家事不期，包羞忍耻是男儿！
4楼2012-01-01 10:13:20
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